[发明专利]柔性长链多鎓盐光致产酸剂、其制备方法和光刻胶组合物

权利要求书

1. 一种柔性长链多鎓盐光致产酸剂，其特征在于：具有如下结构通式（I）或（II）：

(I)

(II)

该化合物中具有多个鎓盐阳离子和一个具长链结构的含氟磺酸阴离子；

A为I、S中的一种或两种；

n_a为2或3；

R为H、Cl、Br、I、或碳原子数在1～20的烷基或烷氧基的一种或多种，R在苯环上的取代数为1～5；

X中含有链状基团，X的结构通式表达为 、、、、或，其中n为链长，链长为1～20个原子。

2.根据权利要求1所述的柔性长链多鎓盐光致产酸剂，其特征在于：所述鎓盐阳离子结构通式为（III）或（IV）：

（III）、 （IV）

其中，R为氢、甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基或叔丁氧基、氟、氯、溴、碘中的一种或多种。

3.根据权利要求2所述的柔性长链多鎓盐光致产酸剂，其特征在于：所述鎓盐阳离子选自：

、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、。

4. 根据权利要求1所述的柔性长链多鎓盐光致产酸剂，其特征在于：所述具长链结构的含氟磺酸阴离子，结构通式为（V）或（VI）：

（V）、（VI）

式中，X为直链的碳链、具支链的碳链、具有醚键的碳链、具有酯键的碳链、具硅醚结构的碳链、具砜或亚砜结构的碳链、具硫、硅或氧杂原子的碳链或包含上述结构单元中一种或多种的长链。

5.根据权利要求4所述的柔性长链多鎓盐光致产酸剂，其特征在于：所述具长链结构的含氟磺酸阴离子选自：

、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、。

6.一种权利要求1所述柔性长链多鎓盐光致产酸剂的制备方法，其特征在于：在对甲苯磺酸催化下将过量的2-溴-2，2-二氟乙醇与二酸化合物在甲苯溶液中加热回流2～30h，结束后反应液得到酯化产物二（2-溴-2，2-二氟乙氧基）二酸酯；该酯溶解在乙腈内，滴加连二亚硫酸钠/碳酸氢钠的水溶液，加完后反应液在40～80℃下加热搅拌12～24h，接着冷却，加入氯化钠固体至饱和，用乙腈萃取；有机相合并加入纯水，再滴加过量双氧水，然后室温反应12～24h；反应完全后用乙腈萃取2次，有机相用无水硫酸钠干燥，浓缩后得到二（2-磺酸钠-2，2-二氟乙氧基）二酸酯磺酸钠盐；用甲醇溶解成清液后，再滴加硫鎓盐或碘鎓盐的水溶液，滴完后避光搅拌12～24h，然后用三氯甲烷萃取3次，有机相浓缩得到长链多鎓盐光致产酸剂。

7.一种光刻胶组合物，其特征在于：所述光刻胶组合物中，至少包含一种权利要求1-4中任一所述的柔性长链多鎓盐光致产酸剂、一种具有酸活性的成膜树脂、一种酸扩散抑制剂及有机溶剂。

8.根据权利要求8所述的光刻胶组合物，其特征在于：所述光刻胶组合物还包含其它光敏剂，所述其它光敏剂选自三苯基硫鎓盐、三对甲苯基硫鎓盐、三对叔丁基苯基硫鎓盐、三（3，5-二甲基苯基）硫鎓盐、三（3，5-二叔丁基苯基）硫鎓盐、三（对甲氧基苯基）硫鎓盐、三（对叔丁氧基苯基）硫鎓盐、三（对正丁氧基苯基）硫鎓盐、二苯基（对乙氧基苯基）硫鎓盐、二苯基（环己基苯基）硫鎓盐、二苯基（对正丁氧基苯基）硫鎓盐、二苯基碘鎓盐、二对甲苯基碘鎓盐、二对叔丁基苯基碘鎓盐、二对乙氧基苯基碘鎓盐、二对正丁氧基苯基硫鎓盐；其配位阴离子为三氟甲基磺酸、全氟丁基磺酸、对甲苯磺酸或萘磺酸。