[发明专利]在一组候选点内识别校准图案的特征点的方法

权利要求书

1.一种用于在根据校准图案(13)的图像(11)得出的一组候选点内识别所述校准图案(13)的特征点的方法，所述方法包括以下步骤：

A.将与所述校准图案(13)或所述校准图案(13)的子图案(15、15')相对应的模板点的模板布置缩放到初始尺寸；

B.使用缩放模板布置来通过以下步骤确定潜在特征点

-针对每个候选点：

(i)将所述缩放模板布置覆盖在所述候选点上，使得所述缩放模板布置的所述模板点的主点与所述候选点重合，

(ii)针对覆盖的缩放模板布置的除所述主点外的每个模板点，从所述一组候选点中识别出最靠近所述模板点的候选点，以及

(iii)通过对所述覆盖的缩放模板布置的除所述主点外的每个模板点与最靠近所述模板点的候选点之间的距离求和或求平均值来确定偏差度；

以及

-将所述一组候选点中具有低于偏差阈值的偏差度的所有候选点识别为潜在特征点；以及

C.确定所述潜在特征点是否满足终止标准，并且

-如果不满足终止标准：修改所述模板布置的缩放并利用修改后的缩放模板布置重复步骤B和步骤C，并且

-如果满足终止标准：将在步骤B的最后一次迭代中识别出的潜在特征点识别为所述校准图案(13)的特征点，

其中，在步骤C中，通过用当前步长调整所述模板布置的尺寸来修改所述模板布置的缩放，所述当前步长的符号和大小取决于在步骤B中识别出的潜在特征点的数量和/或根据在步骤B中识别出的所述潜在特征点得出的质量指数。

2.根据权利要求1所述的方法，

其中，在步骤C中，如果在步骤B中识别出的潜在特征点的数量低于针对步骤B的至此所有迭代的显著性阈值，则通过用恒定的初始步长调整所述模板布置的尺寸来修改所述模板布置的缩放。

3.根据权利要求1或2所述的方法，

其中，在步骤C中，如果在步骤B的最后一次迭代中识别出的潜在特征点的数量首次等于或高于显著性阈值，则将当前步长的大小设置为所述模板布置的尺寸的一半并且可能需四舍五入，并且通过用所述当前步长调整所述模板布置的尺寸来修改所述模板布置的缩放。

4.根据权利要求1所述的方法，

其中，在步骤C中，如果在步骤B的最后一次迭代中识别出的潜在特征点的数量低于显著性阈值，但是在步骤B的以前的迭代中识别出的潜在特征点的数量等于或高于所述显著性阈值，则将所述当前步长的符号反转，并用所述当前步长调整所述模板布置的尺寸来修改所述模板布置的缩放。

5.根据权利要求1所述的方法，

其中，在步骤C中，如果在步骤B的最后一次迭代中识别出的潜在特征点的数量等于或高于显著性阈值，并且在步骤B的前一次迭代中识别出的潜在特征点的数量也等于或高于所述显著性阈值，则将所述当前步长的大小减小一个常数因子并且可能需四舍五入，并且通过用所述当前步长调整所述模板布置的尺寸来修改所述模板布置的缩放。

6.根据权利要求1所述的方法，

其中，通过以下步骤根据所述潜在特征点得出所述质量指数

-通过计算所述缩放模板布置的除所述模板点的所述主点之外的模板点距所述模板点的所述主点的距离的总和或平均值来确定模板尺寸参数；

-针对每个潜在特征点：

-通过计算当所述缩放模板布置覆盖在所述潜在特征点上时最靠近所述缩放模板布置的一个所述模板点的候选点与所述潜在特征点的距离的总和或平均值来确定图案尺寸参数，以及

-通过计算所述模板尺寸参数与所述图案尺寸参数之间的差值来确定匹配值；以及

-通过对所确定的匹配值求和或求平均值来确定所述质量指数。

7.根据权利要求1所述的方法，

其中，在步骤C中，如果根据在步骤B的最后一次迭代中确定的潜在特征点得出的质量指数的符号不同于根据在步骤B的前一次迭代中确定的潜在特征点得出的质量指数的符号，则将当前步长的符号反转，并且通过用当前步长调整所述模板布置的尺寸来修改所述模板布置的缩放。