[发明专利]使用喷墨打印的蚀刻设备有效
申请号: | 201910146747.0 | 申请日: | 2019-02-27 |
公开(公告)号: | CN109935539B | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 李澎;汪梦琪 | 申请(专利权)人: | 安徽科创生产力促进中心有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H05K3/06 |
代理公司: | 南京匠桥专利代理有限公司 32568 | 代理人: | 王冰冰 |
地址: | 241000 安徽省芜湖市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 喷墨 打印 蚀刻 设备 | ||
本发明公开了使用喷墨打印的蚀刻设备,其结构包括盖子、外壳、蚀刻装置,盖子设于外壳上并与外壳通过合页活动连接,蚀刻装置安装在外壳,本发明通过活动门板机构、驱动机构、升温机构、机械传动机构、平移机构、排液机构、活动门板控制机构共同作用下,蚀刻头在未工作时浸泡在溶液中,使得后期蚀刻出来的图像更为清晰直观,并且可以对溶液进行更换,有效保障蚀刻质量。
技术领域
本发明涉及蚀刻设备领域,尤其是涉及到一种使用喷墨打印的蚀刻设备。
背景技术
有机导电膜例如聚(3,4-乙撑二氧噻吩)(“PEDOT”)(有机导体)可通过用蚀刻剂例如次氯酸钠溶液处理而致使非导电。用于使有机导电膜图案化的已知过程包括在导电膜上形成掩模,随后将掩蔽的导电膜浸渍在蚀刻剂浴中,其中有机导体的暴露区域转换为非导电区域,从而形成由非导电区域分开的导电区域的所需图案。
采用喷墨打印技术用于选择性沉积掩模层也是本领域众所周知的。例如,通过喷墨打印技术沉积的油墨的选择性沉积已用于形成蚀刻掩模。然而,蚀刻掩模的使用一般涉及掩模的去除。掩模图案化和去除使蚀刻过程进一步复杂化,并且可为耗时和/或昂贵的。
用于对待蚀刻的膜直接选择性提供蚀刻溶液以便实现成像蚀刻的技术也是本领域已知的。此类技术允许从过程中省略蚀刻掩模。然而,关于此类过程的关注包括可能无法实现所需图像质量。
现有技术使用喷墨打印的蚀刻设备蚀刻出来的图像质量不够清晰并且保持度较差。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明是通过如下的技术方案来实现:使用喷墨打印的蚀刻设备,其结构包括盖子、外壳、蚀刻装置,所述的盖子设于外壳上并与外壳通过合页活动连接,所述的蚀刻装置安装在外壳;
所述的蚀刻装置由活动门板机构、驱动机构、升温机构、机械传动机构、平移机构、排液机构、活动门板控制机构、电路板、纸捆、蚀刻台组成;
所述的活动门板机构与活动门板控制机构机械配合,所述的驱动机构与机械传动机构机械配合,所述的机械传动机构与活动门板机构机械连接,所述的活动门板机构与平移机构机械配合,所述的驱动机构与活动门板控制机构机械连接,所述的活动门板机构与升温机构机械连接,所述的升温机构与排液机构相通。
作为本技术方案的进一步优化,所述的活动门板机构由第一固定板、第一弹簧、第二固定板、伸缩杆、L型固定杆、蚀刻头、连接柱、门板、固定延伸块组成,所述的第一固定板与第二固定板互相平行设立,所述的第一固定板与第二固定板之间通过伸缩杆机械连接,所述的第二固定板远离伸缩杆的一端与第一弹簧连接,所述的门板设有两个并且呈对称结构设立,所述的两个门板之间与连接柱机械连接,所述的连接柱底部与蚀刻头机械焊接,所述的连接柱远离蚀刻头的一端与驱动机构相连接,所述的第一固定板与活动门板控制机构机械连接,在驱动机构的作用下,连接柱带动蚀刻头向上运动,所述的连接柱上固定设有固定延伸块,所述的固定延伸块底部设有L型固定杆,所述的固定延伸块与平移机构活动连接,在活动门板控制机构的作用下,两个第一固定板相悖运动,使得两个第一弹簧收缩,从而带动两个门板相悖运动,使得连接柱的上升没有阻力。
作为本技术方案的进一步优化,所述的驱动机构由电机、电机转轴、齿状边、一号锥形轮、齿轮、L型驱动杆、连接线、固定轮组成,所述的电机与电机转轴机械连接,所述的电机转轴远离电机的一端与一号锥形轮机械配合,所述的一号锥形轮安装在齿轮中,所述的齿轮与齿状边相啮合,所述的齿状边设于L型驱动杆上并与L型驱动杆呈一体结构设立,所述的L型驱动杆与活动门板控制机构机械连接,所述的一号锥形轮与机械传动机构机械配合,所述的连接线与齿轮固定连接,另一端绕过固定轮与连接柱固定连接,电机通电后通过电机转轴以及一号锥形轮驱动齿轮运行,齿轮与齿状边相啮合,使得当齿轮顺时针转动,L型驱动杆向上运动并带动活动门板控制机构随之向上运动。
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