[发明专利]一种银氧化锡复合涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种银氧化锡复合涂层，其特征在于，复合涂层包括梯度过渡层和银氧化锡复合涂层，且梯度过渡层和银氧化锡复合涂层均采用磁控溅射技术依次沉积于基底上；

所述梯度过渡层为镍铬合金层，镍铬合金层包括5层；最底层为纯铬打底层，中间层为依次按照铬体积百分比为10％递减的铬镍层，最上层为体积百分比为60:40的铬镍层；

所述银氧化锡复合涂层电阻率范围为2×10^-8～7×10^-6欧姆米，硬度范围为1.6～2.6GPa，表面粗糙度在50nm以下。

2.根据权利要求1所述的一种银氧化锡复合涂层，其特征在于，所述梯度过渡层每层厚度均为40～80nm，梯度过渡层总厚度为200～400nm。

3.根据权利要求2所述的一种银氧化锡复合涂层，其特征在于，所述银氧化锡复合涂层中氧化锡的含量为体积百分比的5～50％。

4.根据权利要求1所述的一种银氧化锡复合涂层，其特征在于，所用基底为铜及其合金、银及其合金、镍及其合金或不锈钢，致密度为98％以上。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种银氧化锡复合涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)将基底表面进行机械抛光后，超声后吹干；

2)将基底置于真空腔体中的样品盘上，对腔体抽真空至指定本底真空度；调节氩气气压，在一定功率下用射频电源辉光清洗基底表面；

3)使样品盘匀速旋转，调节偏压和气压，通过控制靶功率依次在基底上按照体积百分比沉积100铬层、90：10的铬镍层、80：20的铬镍层、70：30的铬镍层和60：40的铬镍层；

4)调整样品盘匀速旋转，样品盘加热至一定温度，调节偏压和气压，在梯度过渡层上继续沉积银氧化锡复合涂层，通过控制两靶的功率来调节氧化锡的含量，冷却至室温得到复合涂层；

5)将得到的复合涂层在惰性气体保护中退火，随炉冷却，待至温度低于80℃以下，即得银氧化锡复合涂层。

6.根据权利要求5所述的一种银氧化锡复合涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中，将基底表面进行机械抛光至粗糙度Ra小于0.2μm后，酒精中超声10min后氮气吹干。

7.根据权利要求5所述的一种银氧化锡复合涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中，抽真空至本底真空度1×10^-4Pa；氩气气压为2Pa，射 频电源功率为300W；

所述步骤3)中，调节偏压至-70V、气压至0.3Pa。

8.根据权利要求5所述的一种银氧化锡复合涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤4)中，调整样品盘至5～10转/min，样品盘加热温度为150～300℃；沉积银氧化锡复合涂层过程中，调节气压为0.2Pa，偏压为-50V；银靶直流电源功率为100～300W，氧化锡射频电源功率为200～400W。

9.根据权利要求5所述的一种银氧化锡复合涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤5)中，惰性气体为氮气或氩气，退火温度为150℃～300℃，退火时间为1h。