[发明专利]膜层厚度的确定方法在审
| 申请号： | 201910147257.2 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111623714A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 朱伟;张继凯;程晓龙;赵阳 | 申请（专利权）人： | 汉能移动能源控股集团有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张琳琳 |
| 地址： | 100107 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 厚度 确定 方法 | ||
1.一种膜层厚度的确定方法，其特征在于，包括：
提供至少一个平面标准件；其中，所述平面标准件包括至少一层镀膜层，各所述镀膜层与待测试件对应的镀膜层采用相同的镀膜工艺形成；
根据所述平面标准件的参数确定所述待测试件的每层镀膜层的厚度，所述参数包括所述镀膜层厚度及光学参数中一个。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述平面标准件的镀膜层的厚度，确定所述待测试件的每层镀膜层的厚度，包括：
依次测定各所述平面标准件的镀膜层的厚度；
利用各所述平面标准件的镀膜层的厚度之间的差值确定所述待测试件的每层镀膜层的厚度。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述平面标准件的光学参数，确定所述待测试件的每层镀膜层的厚度，包括：
测定所述平面标准件的光学参数；
利用所述平面标准件的光学参数形成第一光学特性曲线；
设置所述待测试件的膜层参数构建模拟膜系；其中，所述膜层参数包括每层镀膜层的厚度；
对所述模拟膜系进行分析，得到第二光学特性曲线；
基于所述第一光学特性曲线，调整所述待测试件镀膜层的厚度，以修正所述第二光学特性曲线，使得所述第二光学特性曲线与所述第一光学特性曲线吻合；其中，吻合后的第二光学特性曲线对应的每层镀膜层的厚度为所述待测试件的每层镀膜层的厚度。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述光学参数包括透光率。
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述测定所述平面标准件的光学参数包括：采用分光计测定所述平面标准件的透光率。
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述透光率为300nm-1250nm光谱范围内的透光率。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的方法，其特征在于，采用电子束蒸发镀膜工艺对所述平面标准件以及所述待测试件进行镀膜。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，还包括结合离子辅助镀膜工艺对所述平面标准件以及所述待测试件进行镀膜。
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待测试件为平面待测试件或曲面待测试件。
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