[发明专利]一种微光显微镜偏置装置有效
申请号: | 201910148038.6 | 申请日: | 2019-02-28 |
公开(公告)号: | CN109884515B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 王小青;段超;吴照玺;丁鸷敏;孟猛;王旭 | 申请(专利权)人: | 中国空间技术研究院 |
主分类号: | G01R31/311 | 分类号: | G01R31/311 |
代理公司: | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人: | 张晓飞 |
地址: | 100194 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微光 显微镜 偏置 装置 | ||
1.一种微光显微镜偏置装置,其特征在于:包括外部电源、上位机、处理器、双通道测试工位、多阵列拨码开关、系统接口和驱动模块;外部电源对被测器件、测试模块和驱动模块供电;上位机发送控制信号给处理器,处理器对控制信号进行处理得到电压信号,之后通过系统接口发送给驱动模块,驱动模块同时对双通道测试工位及多阵列拨码开关进行选通及控制,每个通道均通过拨码开关提供多种偏置电压及测试模式,用于微光显微镜中集成电路缺陷的定位和失效的检查;
所述外部电源包括Vcc1电源、Vcc2电源及供电电源;所述供电电源包含多个电源接口,分别对被测器件、测试模块及驱动模块供电;
所述测试模式包括真值表测试、固定模式测试和测试程序测试;
所述处理器采用ARM处理器进行测试信号的发送和判读;
所述ARM处理器根据待测器件及偏置条件选择对应器件型号的测试程序,经由上位机发送到处理器处理,之后将电压信号发送至驱动模块及测试模块,为待测器件提供对应的偏置电压及测试模式,每个处理器最大提供256个I/O管脚的信号处理;
所述双通道测试工位具有独立的处理器、驱动模块以及供电电源,并且两个测试工位之间采用隔离设置互不干扰;
所述双通道测试工位同时对一只正常器件和失效器件进行对比测试,经过微光显微镜检查芯片内部异常发光点;
所述多阵列拨码开关为多阵列多选通方式,对待测器件每一管脚进行独立选通及控制,并将被选通的通道设置为多种不同的偏置状态;
所述驱动模块测试时钟频率范围为50Hz到5MHz,通过上位机发送信号至驱动模块,经由驱动模块进行放大处理之后,作用于待测器件的I/O接口,单个I/O接口的驱动电流设置限流保护,当超过最高电流时驱动模块内的限流保护器自动进行限流;
还包括测试模块;所述测试模块包括测试夹具、接插件及测试插座,测试夹具用于被测器件的固定,测试模块和驱动模块之间采用两排接插件连接。
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