[发明专利]加工装置的控制方法

权利要求书

1.一种加工装置的控制方法，该加工装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其在该卡盘工作台所保持的被加工物上形成加工槽；拍摄单元，其对待加工的区域进行检测；以及触摸面板，其显示该拍摄单元所拍摄到的图像，并且能够输入检查条件的多个参数，其中，

在形成该加工槽的中途，中断该加工单元的加工动作而利用该拍摄单元对该加工槽进行拍摄，获取拍摄图像，

根据该拍摄图像对该加工槽的状态进行检查，

在对多个参数进行调整而实施最优化时，操作者向显示于该触摸面板的输入栏输入所选择的参数，

与该所选择的参数的输入对应地使输入光标从该输入栏移动，

按照输入至该输入栏的该所选择的参数来执行该加工槽的检查。

2.根据权利要求1所述的加工装置的控制方法，其中，

该多个参数包含光量。

3.根据权利要求1或2所述的加工装置的控制方法，其中，

该多个参数包含拍摄位置。