[发明专利]一种光刻机照明视场光强分布测量控制方法

权利要求书

1.一种光刻机照明视场光强分布测量控制方法，其特征在于：该方法利用的装置包括计算机(1)，数据采集卡(2)，运动台控制器(3)，运动台(4)，点能量传感器(5)，光刻机光源(6)，光刻机照明系统(7)，折转反射镜(8)和光刻机投影物镜(9)，数据采集卡(2)由激光器输出同步信号进行触发，采集点能量传感器(5)测量得到的光强信号，传输至计算机(1)，同时运动台控制器(3)控制运动台(4)带动点能量传感器(5)在光刻机照明系统(7)照明面进行连续面扫描，在数据采集卡(2)通过外部触发获得光强信号的同时计算机(1)读取运动台瞬时位置坐标，全视场扫描完成即可以得到照明视场光强分布，具体控制方法如下：

步骤一：开始测量光刻机照明视场光强分布后，首先启动数据采集卡(2)，等待数据采集卡(2)外部触发信号，触发信号到来时，采集点能量传感器光强信号；

步骤二：运动台(4)开始运动，运动台(4)在一个方向上做连续运动，另一个方向做步进运动；

步骤三：计算机(1)读取运动台(4)瞬时坐标位置；

步骤四：保存光强信号和运动台坐标位置数据；

步骤五：数据采集卡(2)等待外部触发信号，触发信号到来时，采集点能量传感器(5)光强信号；

步骤六：重复步骤三，直到完成光刻机整个照明视场光强分布的测量。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机照明视场光强分布测量控制方法，其特征在于：所述的光刻机光源为脉冲激光，具有与激光同步的输出信号，满足采集卡外部触发信号要求。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机照明视场光强分布测量控制方法，其特征在于：所述的运动台具有X/Y方向二维扫描功能。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机照明视场光强分布测量控制方法，其特征在于：所述的运动台控制器能够实时读取运动台位置坐标。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机照明视场光强分布测量控制方法，其特征在于：所述步骤二运动台以“弓”字型运动，以保证数据的连贯性。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机照明视场光强分布测量控制方法，其特征在于：光刻机照明视场光强分布测量完成后得到的数据包括光强信息和相对应的运动台X/Y轴坐标，运动台连续运动方向位置坐标步长随机分布，步长与光刻机光源重复频率和运动台运动速度有关，最小步长等于运动台速度/光源重复频率，测量完成后可以根据需求对测量得到的数据进行处理得到确定位置坐标时的光强信息，具体方法如下：

步骤(1)：根据需求生成位置坐标数据列，X方向起始坐标x1，终点坐标x2，步长dx，Y方向起始坐标y1，终点坐标y2，步长dy；

步骤(2)：对测量得到的光刻机照明视场光强信息和相对应的运动台X/Y轴坐标进行处理，将满足对应坐标范围内的光强信息进行平均，平均值作为该坐标位置时的光强。

7.根据权利要求6所述的一种光刻机照明视场光强分布测量控制方法，其特征在于：所述步骤(1)中生成的位置坐标范围小于等于测量范围。

8.根据权利要求6所述的一种光刻机照明视场光强分布测量控制方法，其特征在于：所述步骤(1)中生成的运动台连续运动方向上的位置坐标步长大于测量得到的位置坐标步长最小值，生成的运动台步进运动方向上的位置坐标步长等于步进步长，或者是步进步长的整数倍。