[发明专利]用于制造微结构组件的方法、微结构组件和X射线设备

说明书

本发明涉及用于制造微结构组件的方法、微结构组件和X射线设备。在用于制造尤其作为X射线相衬光栅使用在X射线设备(1)中的微结构组件(4)的方法中，根据方法：将吸收X射线的材料填入到至少围绕弯曲轴线可变形的成型件(26)中，所述成型件通过硅基板形成，并且所述成型件具有多个在硅基板(26)的厚度方向(10)上伸展的尺寸在微米范围中的留空部(38)。成型件(26)连带填入的材料调温到高于室温并且低于填入的材料的熔融温度值的工作温度值上，并且变形成合规的最终轮廓。

技术领域

本发明涉及一种用于制造微结构组件、尤其X射线相衬光栅的方法。此外，本发明涉及一种微结构组件，尤其X射线相衬光栅以及一种具有其的X射线设备。

背景技术

在X射线成像的领域中，尤其在医学领域中，部分地利用所谓的泰伯效应。由此，能够生成更精确的图像信息，这通过如下方式形成：产生的图像的对比度通过将X射线的由检查对象造成的相移包括在内来改进。在此，通常使用所谓的(X射线)相衬光栅，所述(X射线)相衬光栅引入到光路中。这种光栅在此通常通过沿X射线辐射方向定向的由吸收X射线的材料构成的板片形成。通常，所述板片相互间的间距和壁厚度在此位于一位至小两位的微米范围中。整个光栅的厚度(或：高度)在透射区域中通常最大为一毫米。因此，这种相衬光栅为微结构组件。

由于尺寸小，所述相衬光栅通常通过在硅晶片中的刻蚀方法和随后用吸收X射线的材料、尤其金属或金属合金填充刻蚀出的凹陷部来制造，以构成板片。这例如从DE 102015 201 741 A1中已知。在此频繁有问题的是，相衬光栅在理想情况下应匹配于从通常点状的辐射源开始的径向射线的局部辐射方向。即板片在理想情况下应相互间以一角度排着。

发明内容

本发明基于如下目的，能够实现改进的微结构组件。

所述目的根据本发明通过用于制造这种微结构组件的方法来实现。此外，所述目的根据本发明通过微结构组件来实现。此外，所述目的根据本发明通过X射线设备来实现。本发明的有利的和部分本身创造性的实施方式和改进方案在下面的描述中示出。

根据本发明的方法用于制造微结构组件，尤其(X射线)相衬光栅。根据方法，在此将吸收X射线的材料填入到至少可围绕弯曲轴线(尤其弹性)变形的成型件中，所述成型件通过硅基板形成并且所述成型件具有多个在硅基板的厚度方向上伸展的留空部。留空部在此具有在微米范围中的尺寸(即尤其沿面方向观察最小的尺寸大致为直至10微米，尤其大致0.5微米、1微米或直至4微米)。将成型件连带填入的材料调温到大于室温并且小于所填入的材料的熔融温度值的工作温度值上，并且随后变形成合规的最终轮廓。

通过由材料填充的成型件的变形在材料的融化温度之下进行，有利地防止，材料融化并且能够在熔融的状态下从留空部中流出。

此外，成型件、具体而言留空部在变形成最终轮廓之前的填充通常比填充已经预成型的成型件更简单。

特别优选地，在工作温度值下通过填入的材料(尤其受温度支持的)蠕变将“被填充的”成型件，即成型件连带填入的材料变形到合规的最终轮廓。在此，尤其将蠕变(或者还有“阻滞”)至少理解成结构变化，所述结构变化相对缓慢地并且通常在相对小的负荷下进行并且引起塑性变形。通常，引起这种结构变化的过程是热激活的，即从通常相对于室温提高的温度开始才进行(尤其在金属的情况下)。通过在上文中描述的对填入的材料的蠕变的利用，有利地能够实现，所填充的成型件以相对小的变形力变形成最终轮廓。由此，有利地能够降低如下风险：损坏微结构组件和/或成型件的微结构和因此降低微结构组件的精度。

优选地，作为吸收X射线的材料、尤其金属(优选具有相对高的蠕变倾向)、例如锡或锡合金。