[发明专利]纳米载药机器人的制备方法有效
| 申请号： | 201910149831.8 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111621747B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 张伯伦;杨志 | 申请（专利权）人： | 湖南早晨纳米机器人有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/24;C23C14/35;C23C14/58;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 藏斌;赵青朵 |
| 地址： | 410300 湖南省长沙市浏阳经*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 机器人 制备 方法 | ||
1.一种纳米载药机器人的制备方法，包括以下步骤：
a)提供表面设置有SiO2膜层的衬底基板；
b)在所述SiO2膜层上镀武德合金，形成武德合金膜层；
c)在所述武德合金层上镀磁性材料，形成磁性膜层；
d)将步骤c)得到的多层复合材料进行光刻；
步骤d)中，所述光刻的脉冲能量为150～300μJ；所述光刻的光束直径为0.01～0.02μm；所述光刻的深度为：不穿透磁性膜层，只穿透磁性膜层，从磁性膜层穿透到武德合金膜层，或从磁性膜层穿透到SiO2膜层；
e)将完成光刻的多层复合材料进行加热至材料中的武德合金膜层溶化，磁性膜层与衬底基板分离，得到磁性纳米载药机器人。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤b)中，所述镀的方式为蒸镀；
所述蒸镀的基底温度为40～60℃；所述蒸镀的蒸发温度为170～400℃；所述蒸镀的蒸发速度为1～5晶振点/秒；所述蒸镀的真空度为5×10-4～3×10-4Pa。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤b)中，所述武德合金膜层的厚度为50～100nm。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤c)中，所述镀的方式为磁控溅射；
所述磁控溅射的溅射速率为5～10nm/s；所述磁控溅射的时间为40～120s。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤c)中，所述磁性膜层的厚度为10～1000nm。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤e)中，所述多层复合材料在水中进行加热；所述加热的温度为75～80℃。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤e)还包括：
待所述磁性膜层与衬底基板分离后，对磁性膜层进行切割。
8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，步骤e)中，所述切割的方式为激光切割。
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