[发明专利]羧酸聚合物作为气态醇去除材料的用途以及用于去除气态醇的滤网结构

说明书

本发明提供一种羧酸聚合物作为气态醇去除材料的用途以及用于去除气态醇的滤网结构，包含第一滤网、第二滤网、以及气态醇去除材料。第一滤网具有第一侧面。第二滤网具有第二侧面，其中第二滤网设置于第一滤网的一侧使第二侧面面朝第一侧面。气态醇去除材料设置于第一滤网和第二滤网之间，其中气态醇去除材料包含羧酸聚合物。

技术领域

本发明涉及一种羧酸聚合物作为气态醇去除材料的用途以及用于去除气态醇的滤网结构。

背景技术

在例如半导体制造业的工业制造领域中，为了进一步提升产品良率，无尘室被广泛使用以在洁净、无污染的隔离环境中进行产品的生产制造。

欲达成无尘室的环境要求，一般会在无尘室的进气口架设风机及过滤设备，使气流经由风机驱动通过过滤设备的滤网再进入无尘室，以便过滤粉尘及各种有机、无机污染物。

在污染物当中，气态醇不像粉尘具有固定形状，无法利用控制滤网孔隙大小滤除，常见的活性碳材料对于低浓度的气态醇的去除能力则不佳。因此，如何有效去除低浓度的气态醇即为有待解决的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种羧酸聚合物作为气态醇去除材料的用途。

本发明的另一目的在于提供一种用于去除气态醇的滤网结构。

本发明的羧酸聚合物作为气态醇去除材料的用途，其中羧酸聚合物的单体的碳数＜7。

在本发明的一实施例中，羧酸聚合物进一步包含氨基(-NH2)。

在本发明的一实施例中，羧酸聚合物选自包含聚(甲基乙烯基醚-alt-顺丁烯二酸)、聚(丙烯酸-co-顺丁烯二酸)(poly(acrylic acid-co-maleic acid))、聚丙烯酸(poly(acrylic acid))、聚甲基丙烯酸(poly(methacrylic acid))、聚顺丁烯二酸(poly(maleicacid))、聚丙烯酰胺-co-丙烯酸(poly acrylamide-co-acrylic acid)、聚乙烯-co-丙烯酸(poly(ethylene-co-acrylic acid))、聚(乙烯-co-甲基丙烯酸)(poly(ethylene-co-methacrylic acid))其中之一或其组合的群组。

本发明的用于去除气态醇的滤网结构，包含第一滤网、第二滤网、以及气态醇去除材料。第一滤网具有第一侧面。第二滤网具有第二侧面，其中第二滤网设置于第一滤网的一侧使第二侧面面朝第一侧面。气态醇去除材料设置于第一滤网和第二滤网之间，其中气态醇去除材料包含羧酸聚合物。

在本发明的一实施例中，气态醇去除材料以600至800g/m²的量设置于第一滤网和第二滤网之间。

附图说明

图1为本发明的用于去除气态醇的滤网结构的实施例示意图。

图2为不同样本的本发明的气态醇去除材料吸附气体测试结果图。

图3为不同设置量的本发明的气态醇去除材料吸附气体测试结果图。

主要元件符号说明：

100 第一滤网

101 第一侧面

200 第二滤网

202 第二侧面

300 气态醇去除材料

900 滤网结构

具体实施方式

本发明的羧酸(Carboxylic acid，通式R-COOH)聚合物作为气态醇去除材料的用途。其中，醇包含但不限于乙醇、异丁醇、异丙醇。