[发明专利]压电收发器、振动传感器及制造压电收发器的方法

权利要求书

1.一种用于振动传感器(100)的压电收发器(1)，其特征在于，所述压电收发器(1)形成为具有驱动装置座(3)的独立处理单元，所述驱动装置座(3)具有用于将所述压电收发器(1)连接到所述振动传感器(100)的膜片(90)的机械连接部(5)，所述压电收发器具有堆叠式压电驱动装置(11)，其中，所述驱动装置座(3)包括固定部(9)，所述固定部用于在所述驱动装置座(3)中固定并预压紧所述堆叠式压电驱动装置(11)，并且所述堆叠式压电驱动装置(11)被夹紧到所述驱动装置座(3)，

其中，由于所述压电收发器(1)形成为独立处理单元，所述压电收发器(1)能够被单独地预安装、偏置、回火并且再次紧固，并且进而经由所述机械连接部(5)连接到所述振动传感器(100)的所述膜片(90)。

2.根据权利要求1所述的压电收发器(1)，其特征在于，所述堆叠式压电驱动装置(11)包括具有压电单元(13)的堆叠体并包括调节陶瓷(17)，所述压电单元(13)具有至少一个压电元件(15)，所述调节陶瓷(17)在所述堆叠体中分别布置在所述压电单元(13)的上方和下方。

3.根据权利要求2所述的压电收发器(1)，其特征在于，在所述堆叠体中在所述调节陶瓷(17)的上方和下方分别布置有压力件(19)。

4.根据权利要求3所述的压电收发器(1)，其特征在于，所述压力件(19)、所述调节陶瓷(17)以及所述至少一个压电元件(15)形成为具有圆形外轮廓并且具有相同的直径(d)。

5.根据权利要求2到4中任一项所述的压电收发器(1)，其特征在于，所述堆叠式压电驱动装置(11)被烧结成单体。

6.根据权利要求5所述的压电收发器(1)，其特征在于，所述压电元件(15)均具有凹槽(15a)，在所述凹槽中布置有用于接触所述压电元件(15)的连接线(31)。

7.根据权利要求3所述的压电收发器(1)，其特征在于，所述压力件(19)是金属压力件。

8.一种振动传感器(100)，其具有机械振动单元(7)和第二连接部(23)，所述机械振动单元布置在可振动的膜片(90)上，所述第二连接部用于将所述膜片(90)连接到压电收发器(1)，使得所述压电收发器(1)的振动被传递到所述膜片(90)并且所述膜片(90)的振动被传递到所述压电收发器(1)，其特征在于，所述压电收发器(1)形成为根据前述权利要求中任一项所述的压电收发器(1)。

9.一种制造根据权利要求1的用于振动传感器(100)的压电收发器(1)的方法，所述方法具有如下步骤：

设置驱动装置座(3)，

将堆叠式压电驱动装置(11)布置在所述驱动装置座(3)中，

所述方法的特征在于，

使用第一预定扭矩(M₁)紧固夹紧装置(21)，以将所述堆叠式压电驱动装置(11)与所述驱动装置座(3)预压紧，

对所述压电收发器(1)进行回火，并且，

使用第二预定扭矩(M₂)再次紧固所述夹紧装置(21)。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述回火在低于所使用的压电材料的居里温度但至少为300℃的温度下进行至少4小时。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其特征在于，

所述第一预定扭矩(M₁)的范围为1.5Nm到2.5Nm，并且/或者，

所述第二预定扭矩(M₂)的范围为1.5Nm到2.5Nm。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，

所述第一预定扭矩(M₁)为2Nm。

13.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，

所述第二预定扭矩(M₂)为2Nm。