[发明专利]一种氧化锌纳米线气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910151023.5 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109813760A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 周文鳞;王青 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 高姗 |
| 地址： | 213001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化锌纳米线 气体传感器 制备 肖特基结 金电极 薄膜 气体检测技术 一维纳米线 高灵敏度 气敏材料 气体分子 气体检测 形貌结构 大响应 高响应 纳米线 吸附 半导体 金属 | ||
1.一种氧化锌纳米线气体传感器，其特征在于：其包括衬底(1)，衬底(1)上附着有多根氧化锌纳米线(2)，氧化锌纳米线(2)的两端各搭接有一薄膜Au电极(3)，所述薄膜Au电极(3)的端部引出处设有引线盘(4)，引线盘(4)上设有引出线(5)。
2.根据权利要求1所述的氧化锌纳米线气体传感器，其特征在于：衬底(1)的材质选自玻璃、陶瓷、硅片和柔性聚合物材料中的一种。
3.根据权利要求1所述的氧化锌纳米线气体传感器，其特征在于：氧化锌纳米线(2)的直径为20-300nm，长度为1-22μm。
4.根据权利要求1所述的氧化锌纳米线气体传感器，其特征在于：薄膜Au电极(3)的厚度为5-30nm，两个薄膜Au电极(3)的间距为0.5-20μm。
5.一种如权利要求1所述的氧化锌纳米线气体传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
(Ⅰ)在一生长衬底上制备氧化锌纳米线(2)；
(Ⅱ)将所述生长衬底上的氧化锌纳米线(2)转移至衬底(1)上；
(Ⅲ)在衬底(1)上制备薄膜Au电极(3)，使薄膜Au电极(3)与氧化锌纳米线(2)的端部搭接；
(Ⅳ)在薄膜Au电极(3)的端部引出处镀上引线盘(4)，并在引线盘(4)上制作引出线(5)，得到氧化锌纳米线气体传感器。
6.根据权利要求5所述的氧化锌纳米线气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤(Ⅰ)中所述生长衬底的材质含有硼、铝、镓、铟、氮、磷、砷元素中的一种或多种。
7.根据权利要求5所述的氧化锌纳米线气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤(Ⅰ)中制备氧化锌纳米线(2)的方法为，将氧化锌与碳粉末均匀混合后，置于管式炉加热区，然后将生长衬底置于管内，对炉管抽真空，在通入氩气和氧气氛围下于1050℃进行气相法生长15分钟，在生长衬底上获得了氧化锌纳米线(2)。
8.根据权利要求7所述的氧化锌纳米线气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤(Ⅱ)中转移氧化锌纳米线(2)的方法为干法刮涂或溶液分散转移。
9.根据权利要求5所述的氧化锌纳米线气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤(Ⅲ)中采用真空蒸镀或靶材溅射的方法制备薄膜Au电极(3)。
10.根据权利要求5所述的氧化锌纳米线气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤(Ⅳ)中制备完引出线(5)后，在氮气氛围中进行200℃、10min的退火处理，得到所述传感器。
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