[发明专利]一种掩模版凸版检测装置、传输系统及光刻设备

权利要求书

1.一种掩模版凸版检测装置，其特征在于，包括：

测距传感器，位于版库的一侧；

调节组件，用于调节所述测距传感器对所述版库的各版槽进行扫描，且使所述测距传感器发射的测距信号经各所述版槽中的掩模版反射后，能够原路反射回所述测距传感器；

检测机构，与所述测距传感器及所述调节组件连接，用于控制所述测距传感器和所述调节组件工作，并根据所述测距传感器在扫描各所述版槽时的扫描位姿以及所述测距传感器测得的距离信息，确定各所述版槽是否存在凸版。

2.根据权利要求1所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述调节组件包括编码器、旋转电机和反射镜组，所述编码器以及所述旋转电机分别与所述检测机构连接，所述测距传感器位于所述版库和所述反射镜组之间，所述反射镜组包括与各所述版槽一一对应设置的反射镜，所述旋转电机用于控制所述测距传感器旋转，以调节所述测距传感器的扫描角度，使测距信号经所述反射镜反射至对应的所述版槽中，所述编码器用于测量所述测距传感器的旋转角度并反馈至所述检测机构，以使所述检测机构通过所述旋转电机调节所述测距传感器的扫描角度。

3.根据权利要求2所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述调节组件还包括镜组固定机构，所述反射镜组固定于所述镜组固定机构上，且至少两个所述反射镜竖直排列。

4.根据权利要求3所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述测距传感器位于所述版库的掩模取放口的正前方，所述反射镜的反射面朝向所述掩模取放口的所在平面向下倾斜设置。

5.根据权利要求4所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述扫描位姿包括所述测距传感器的位置和扫描角度，所述检测机构被配置为：

若判定则确定与扫描角度对应的所述版槽存在凸版；其中，D1为所述测距传感器测得的测距信号的往返距离，L2为与所述扫描角度对应的反射镜上的反射点到所述掩模取放口所在平面的距离，θ1为所述测距传感器的扫描角度，L1为所述测距传感器到所述反射点的水平距离。

6.根据权利要求3所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述测距传感器位于所述版库的掩模取放口的侧前方，所述反射镜的反射面朝向所述版库侧壁的所在平面向下倾斜设置，其中，所述版库侧壁为所述版库与所述掩模取放口相连的一侧面，所述测距传感器到所述掩模取放口所在平面的距离小于或等于预设距离。

7.根据权利要求6所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述预设距离小于或等于5mm。

8.根据权利要求6所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述扫描位姿包括所述测距传感器的位置和扫描角度，所述检测机构被配置为：

若判定则确定与扫描角度对应的所述版槽存在凸版；其中，D2为所述测距传感器测得的测距信号的往返距离，L4为与所述扫描角度对应的反射镜上的反射点到掩模版靠近所述测距传感器的一面的距离，θ2为所述测距传感器的扫描角度，L3为所述测距传感器到所述反射点的水平距离。

9.根据权利要求2所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述编码器为码盘。

10.根据权利要求1所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述测距传感器为激光测距传感器或红外线测距传感器。

11.一种掩模传输系统，其特征在于，包括至少一个版库和如权利要求1-10任一所述的掩模版凸版检测装置。

12.根据权利要求11所述的掩模传输系统，其特征在于，所述版库和所述掩模版凸版检测装置中的测距传感器一一对应设置。

13.一种光刻设备，其特征在于，包括如权利要求11或12所述的掩模传输系统。