[发明专利]一种镁铝合金载氢薄膜材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201910152281.5 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109680254B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 王亮;唐舵;吉祥波;王窈;李勇;邢宗仁;覃文志;高原 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院化工材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/18;C22C21/06;F42C19/08;C01B3/00 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人： | 刘渝 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铝合金 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种镁铝合金载氢薄膜材料，包括镁铝合金薄膜，其特征在于：所述镁铝合金薄膜中镁原子和铝原子的比例在9:1到1:9之间；氢原子所占比例小于等于20％，其厚度为纳米量级到微米量级；
所述镁铝合金载氢薄膜材料的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：选取具有高激光透过率的基片，将其清洗干净并烘干备用；
步骤2：将步骤1所得基片与镁铝合金靶材放入溅射腔室，安装固定后抽真空；
步骤3：通过磁控溅射镁铝合金薄膜；
所述步骤3中溅射工艺为：背底真空小于4×10-4Pa；工作气压0.6Pa；溅射功率100W，溅射电流325mA，溅射电压310V；溅射时同时通入氩气和氢气，氩气与氢气的体积比在3:1到1:1之间。
2.根据权利要求1所述的镁铝合金载氢薄膜材料，其特征在于：所述镁铝合金薄膜材料具有良好的氢吸附性能。
3.根据权利要求1所述的镁铝合金载氢薄膜材料，其特征在于，所述步骤1中清洗包括如下步骤：
步骤1.1：将基片在丙酮中超声清洗15分钟；
步骤1.2：将步骤1.1所得基片在无水乙醇中超声清洗15分钟；
步骤1.3：将步骤1.2所得基片在去离子水中超声清洗15分钟；
步骤1.4：将步骤1.3所得基片在等离子清洗机中清洗15分钟。
4.根据权利要求1所述的镁铝合金载氢薄膜材料，其特征在于，溅射是通入的氩气和氢气的比例为3:1、3:2或1:1。
5.根据权利要求1所述的镁铝合金载氢薄膜材料，其特征在于，所述步骤2中抽真空后的真空度优于4×10-4Pa。
6.根据权利要求1所述的镁铝合金载氢薄膜材料，其特征在于，所述步骤3镁铝合金薄膜溅射完成之后在其上方溅射一层10nm厚的钽。
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