[发明专利]气幕隔离装置及气幕隔离腔在审
申请号: | 201910152814.X | 申请日: | 2019-02-28 |
公开(公告)号: | CN111621755A | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 年志刚;余冲平;罗友菊;张贵土;徐铭俊;姚灿明;张权威 | 申请(专利权)人: | 广东汉能薄膜太阳能有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人: | 姜波 |
地址: | 517000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 隔离 装置 | ||
1.一种气幕隔离装置,其特征在于,包括第一隔离板和第二隔离板,
所述第一隔离板和所述第二隔离板相对设置,所述第一隔离板和所述第二隔离板的相对面之间形成输送间隙;
所述第一隔离板和所述第二隔离板中的至少一者上设有气幕隔离机构,用于气体的输送以在所述输送间隙形成气幕。
2.根据权利要求1所述的气幕隔离装置,其特征在于,所述气幕隔离机构包括第一吸气组件和第一吹气组件,所述第一吸气组件和所述第一吹气组件分别与所述输送间隙连通。
3.根据权利要求2所述的气幕隔离装置,其特征在于,所述第一吸气组件包括相互连通的第一吸气通道和第一吸气嘴,所述第一吸气嘴嵌设于所述第一隔离板内并与所述输送间隙连通;所述第一吹气组件包括相互连通的第一吹气通道和第一吹气嘴,所述第一吹气嘴嵌设于所述第一隔离板内并与所述输送间隙连通。
4.根据权利要求3所述的气幕隔离装置,其特征在于,一个所述第一吸气通道与多个所述第一吸气嘴连通,并具有一个吸气出口;一个所述第一吹气通道与多个所述第一吹气嘴连通,并具有一个吹气进口。
5.根据权利要求3所述的气幕隔离装置,其特征在于,所述第一吹气嘴和所述第一吸气嘴相对于设有所述气幕隔离机构的隔离板的板面具有倾斜角度。
6.根据权利要求5所述的气幕隔离装置,其特征在于,所述第一吹气嘴和所述第一吸气嘴的倾斜方向相反。
7.根据权利要求3所述的气幕隔离装置,其特征在于,所述第一吹气嘴的轴线相对于设有该第一吹气嘴的隔离板的板面呈30-60°夹角,所述第一吸气嘴的轴线相对于设有该第一吸气嘴的隔离板的板面呈30-60°夹角。
8.根据权利要求3所述的气幕隔离装置,其特征在于,在垂直于所述第一吹气嘴的延伸方向的方向上,所述第一吹气嘴具有圆形截面或方形截面,且所述圆形截面或方形截面的面积,沿气体流动方向逐渐缩小。
9.根据权利要求1所述的气幕隔离装置,其特征在于:所述气幕隔离装置还包括相对设置的第一固定板和第二固定板,所述第一固定板与所述第一隔离板相连,所述第二固定板与所述第二隔离板相连。
10.根据权利要求1所述的气幕隔离装置,其特征在于:还包括两个夹持件,所述两个夹持件分别设于所述第一隔离板与所述第二隔离板之间,用于在所述第一隔离板和所述第二隔离板的相对面之间形成所述输送间隙。
11.一种气幕隔离腔,其特征在于:包括腔体和两个如权利要求1-10任一项所述的气幕隔离装置,其中一个气幕隔离装置固定于所述腔体的输入端的腔壁上,且所述一个气幕隔离装置的输送间隙对应所述输入端的腔壁上的开口,其中另一个气幕隔离装置固定于所述腔体的输出端的腔壁上,且所述另一个气幕隔离装置的输送间隙对应所述输出端的腔壁上的开口。
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