[发明专利]一种三轴振镜共轴调节装置及焦距确认方法

权利要求书

1.一种三轴振镜共轴调节装置，其特征在于，包括：

激光器，用于发射激光；

多个反射组件，设置在所述激光器出光路上，所述多个反射组件包括多个反射镜及对应设置的角度调节装置，所述多个反射组件用于反射激光；

Z轴振镜组件，所述Z轴振镜组件设置在所述多个反射组件光路上，所述Z轴振镜组件用于调节焦距；

二维振镜组件，设置在所述Z轴振镜组件出光路上，所述二维振镜组件用于出光打标；

调节架组件，所述调节架组件设置在所述Z轴振镜组件下，所述调节架组件用于调节所述Z轴振镜组件升降、水平移动及两个角度指向；

所述Z轴振镜组件包括：固定架、设置在所述固定架内的凹透镜、以及设置在所述凹透镜上用以驱动所述凹透镜沿光轴运动的Z轴电机，所述固定架用于支撑固定所述Z轴电机，所述Z轴电机用于驱动所述凹透镜沿光轴运动，所述固定架设置在所述调节架组件上，所述调节架组件用于对所述固定架进行四维调节。

2.根据权利要求1所述的三轴振镜共轴调节装置，其特征在于，所述多个反射镜包括：设置在所述激光器出光路上的第一反射镜以及设置在所述第一反射镜一侧的第二反射镜，所述第二反射镜设置在所述Z轴振镜组件光轴上。

3.根据权利要求2所述的三轴振镜共轴调节装置，其特征在于，所述调节架组件包括：设置在所述固定架下的平移台、设置在所述平移台下的升降台以及设置在所述升降台下的角度调节架。

4.根据权利要求3所述的三轴振镜共轴调节装置，其特征在于，所述升降台包括：旋转杆、设置在所述旋转杆一侧的固定板以及设置在所述固定板上的升降部，所述升降部一端通过所述固定板与所述旋转杆传动连接，所述升降部另一端设置在所述平移台下。

5.根据权利要求1所述的三轴振镜共轴调节装置，其特征在于，所述二维振镜组件包括：XY二维振镜、设置在所述XY二维振镜一侧上的聚焦转接板、固定设置在所述聚焦转接板一侧上的安装座以及设置在所述安装座上的聚焦镜，所述聚焦镜与所述Z轴振镜组件光轴对应设置。

6.根据权利要求5所述的三轴振镜共轴调节装置，其特征在于，所述XY二维振镜包括：X轴振镜以及与所述X轴振镜垂直设置的Y轴振镜，所述X轴振镜、所述Y轴振镜上分别设有X轴电机、Y轴电机。

7.根据权利要求6所述的三轴振镜共轴调节装置，其特征在于，所述聚焦镜出光口、入光口分别设置出口准直叉丝、入口准直叉丝，所述出口准直叉丝、所述入口准直叉丝中心与所述聚焦镜同轴设置，所述安装座上设有凹槽，所述出口准直叉丝设置在所述凹槽内。

8.一种如权利要求1所述调节装置的焦距确认方法，其特征在于，所述方法包括步骤：

通过Z轴振镜组件调节激光的聚焦焦距，通过二维振镜组件控制光束在工件上进行扫描，得到振镜焦距；

根据所述振镜焦距选取加工文件对工件进行测试，所述加工文件包括宫格参数与尺寸参数，所述宫格参数包括离焦值及校正图形；

根据所述离焦值，调整平台与振镜间距，使中间宫格移至前面所找到的焦距位置，调整宫格离焦值，直到焦距误差小于0.25倍焦深；

根据工件的加工参数进行选择，所述加工参数包括第一类加工参数与第二类加工参数，对所述第一类加工参数与第二类加工参数进行切割，其中，所述第一类加工参数与所述第二类加工参数分别包括对应的切割图形，所述第二类加工参数基于所述第一类加工参数的切割图形；

根据加工参数对应的切割图形对工件进行切割；

缩小宫格离焦值，重复上述第一类加工参数的切割图形，通过轨迹直观的观察焦距位置的趋势，第二类加工参数的切割图形，利用第一类加工参数的切割图形定位观察，在高倍CCD或显微镜下准确测量比较得到粗调焦距值；设置平台与振镜间距，使中间宫格移至前面所找到的焦距位置，直到焦距误差小于0.25倍焦深。

9.根据权利要求8所述的焦距确认方法，其特征在于，还包括步骤：

通过高倍CCD或显微镜观察测量焦平面内第二类加工参数的加工点的尺寸及圆度，检验光路系统调节效果。