[发明专利]成像光谱仪的线性渐变滤光片检测装置

权利要求书

1.成像光谱仪的线性渐变滤光片检测装置，其特征在于，包括白色光源(6)、第一反射镜(7)、第二反射镜(5)、线性渐变滤光片(3)、第三反射镜(2)、光阑组件(1)、第四反射镜(9)、精密位移台(4)、检测模块；

所述白色光源(6)发射基准光，

所述基准光经所述第一反射镜(7)准直，再经第二反射镜(5)汇聚后，入射到线性渐变滤光片的入射狭缝处，在线性渐变滤光片(3)的待测表面第一次成像；

透射过所述线性渐变滤光片(3)的基准光经所述第三反射镜(2)准直，再经第四反射镜(9)汇聚后，在所述检测模块上第二次成像并输出线性渐变滤光片的单点检测光谱特性；

所述精密位移台(4)与线性渐变滤光片(3)连接，用于调整线性渐变滤光片(3)的位置，实现对线性渐变滤光片(3)的多点扫描测量，得出线性渐变滤光片(3)的光谱特性分布规律。

2.如权利要求1所述的成像光谱仪的线性渐变滤光片检测装置，其特征在于，所述第二反射镜(5)和线性渐变滤光(3)片之间设置斩波器(8)，用于将连续基准光调成固定频率的光。

3.如权利要求1所述的成像光谱仪的线性渐变滤光片检测装置，其特征在于，所述第三反射镜(2)和第四反射镜(9)之间设置光阑组件(1)，用于控制基准光的通过量。

4.如权利要求1所述的成像光谱仪的线性渐变滤光片检测装置，其特征在于，所述的检测模块包括单色仪(11)、光电倍增管(10)、锁相放大器(12)，

所述光电倍增管(10)连接在单色仪(11)的出射狭缝处，

所述锁相放大器(12)与光电倍增管(10)连接，

所述基准光经过第四反射镜(9)汇聚后，在所述单色仪(11)的入射狭缝处第二次成像；

进入到所述单色仪(11)的基准光经过单色仪(11)分光后，由单色仪(11)的出射狭缝经光电倍增管(10)输出到锁相放大器(12)中。

5.如权利要求1所述的成像光谱仪的线性渐变滤光片检测装置，其特征在于，所述白色光源(6)为激光。

6.如权利要求1所述的成像光谱仪的线性渐变滤光片检测装置，其特征在于，所述第一反射镜(7)、第二反射镜(5)、第三反射镜(2)、第四反射镜(9)均为抛物面反射镜。