[发明专利]导电泡棉及其制备方法在审
申请号: | 201910156814.7 | 申请日: | 2019-03-01 |
公开(公告)号: | CN109881159A | 公开(公告)日: | 2019-06-14 |
发明(设计)人: | 王明树 | 申请(专利权)人: | 深圳市飞荣达科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/20;H05K9/00 |
代理公司: | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人: | 王少虹;郭方伟 |
地址: | 518055 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导电泡棉 泡棉 制备 清洗 多弧离子镀 高压等离子 镀覆 本底真空度 镀覆金属层 延展性 惰性气体 回复性能 泡棉表面 室内压力 预定压力 制备过程 抽真空 弧电源 金属层 真空室 电阻 镀层 放入 电源 废气 传送 废水 室内 环保 配合 | ||
本发明公开了一种导电泡棉及其制备方法,导电泡棉的制备方法包括以下步骤:S1、将泡棉放入真空室内,对真空室进行抽真空至本底真空度;S2、充入惰性气体,将真空室内压力控制并保持在预定压力;S3、将泡棉传送至镀覆区,开启高压等离子清洗电源对所述泡棉进行清洗;S4、开启多弧电源,通过多弧离子镀对泡棉表面进行金属层镀覆,形成导电泡棉。本发明的导电泡棉的制备方法,将高压等离子清洗与多弧离子镀配合在泡棉上镀覆金属层形成导电泡棉,工序简单,节省人力,减少了制备过程中废水、废气、危险固废的产生,环保;制得的导电泡棉具有电阻低、镀层内应力低、延展性好,性能稳定、回复性能优良等优点。
技术领域
本发明涉及导电泡棉技术领域,尤其涉及一种导电泡棉及其制备方法。
背景技术
在现有的全方位导电泡棉的制备工艺中,一般有以下两种工艺路线:一种为使用直流磁控溅射工艺镀覆一层金属如铜层、镍层,使原泡棉获得导电性,之后进行电镀铜金属获得所需的电阻率,最后在铜层表面电镀镍金属层对铜金属进行防腐保护。另一种工艺路线是化学镀法,先对泡棉进行粗化微蚀后,使用胶体钯对泡棉进行催化改性,使其获得化学催化能力,在其表面进行化学镀镍或化学镀铜以使材料获得导电性能,之后进行电镀镍获得需要的电阻率性能和防腐性能。
现有的上述两种工艺路线均存在工艺路线复杂、管控困难、产品附着力差、质量性能波动大等缺点。上述工艺路线中电镀为主要工序,生产过程中不可避免的产生大量废水、含重金属固废、废气等,对环境影响大,处于受限制发展状态。因此,现有全方位导电泡棉的制备工艺还有待于改进和发展。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于,提供一种工序简单、减少污染工序,环保的导电泡棉的制备方法及制得的导电泡棉。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种导电泡棉的制备方法,包括以下步骤:
S1、将泡棉放入真空室内,对真空室进行抽真空至本底真空度;
S2、充入惰性气体,将真空室内压力控制并保持在预定压力;
S3、将泡棉传送至镀覆区,开启高压等离子清洗电源对所述泡棉进行清洗;
S4、开启多弧电源,通过多弧离子镀对泡棉表面进行金属层镀覆,形成导电泡棉。
优选地,步骤S1中,所述本底真空度为5.0×10-2Pa以上;
步骤S2中,所述预定压力为1.0×10-1Pa-1.0×10-2Pa。
优选地,步骤S3中,高压等离子清洗电源的工作电压为1KV-5KV。
优选地,步骤S4中,多弧离子镀的工作电压为20-80V,单靶电流80-300A,基底偏压为0-80V。
优选地,所述金属层为单层或多层,每一层所述金属层为单质金属镀层或合金镀层。
优选地,形成所述金属层的金属材料包括铜、铜合金、镍、镍合金、钼、钒、镍钒合金、银、铝及铝合金中一种或多种。
优选地,步骤S1中,在所述真空室内放置放卷机构、传动机构以及收卷机构;所述泡棉成卷放置在所述放卷机构上;
步骤S3、S4中,成卷的所述泡棉在所述传动机构传送下通过所述镀覆区进行高压等离子清洗和多弧离子镀后收卷于所述收卷机构上。
优选地,步骤S4中,进行多弧离子镀时,将所述泡棉表面温度控制在180℃或200℃以下。
优选地,步骤S4中,交替对所述泡棉相对两个表面进行多弧离子镀,在多次交替后,靶材在所述泡棉的表面沉积形成金属层。
本发明还提供一种导电泡棉,采用以上任一项所述的制备方法制得。
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