[发明专利]一种多线阳极并行布置的扫描式电沉积加工方法及装置

权利要求书

1.一种多线阳极并行布置的扫描式电沉积加工装置，包括固定板（2）、搅拌桨（5）、直线状阳极（6）、阴极基底（7）和电沉积电源（9），其特征在于：它还包括搅拌桨安装架（4）和触碰装置（8）；所述的搅拌桨安装架（4）设有横梁（4-1）和侧梁（4-2）；所述的侧梁（4-2）为两根，分别位于横梁（4-1）的两端且都与横梁（4-1）垂直；所述的侧梁（4-2）设有前导向槽（4-2b）和后导向槽（4-2c）；所述的搅拌桨（5）为片状，其中部设有通孔（5-3）、上部左右两侧设有安装轴（5-2）；所述的安装轴（5-2）可滑动地配合联接于前导向槽（4-2b）或后导向槽（4-2c）；所述的搅拌桨（5）上设有触碰装置（8）；所述的搅拌桨（5）为3~5个，等间隔地且相互平行地安设在搅拌桨安装架（4）上。

2.根据权利要求1所述的一种多线阳极并行布置的扫描式电沉积加工装置，其特征在于：所述的直线状阳极（6）固定于搅拌桨（5）的底部，且其最下沿与搅拌桨（5）的底部平齐。

3.根据权利要求1所述的一种多线阳极并行布置的扫描式电沉积加工装置，其特征在于：所述的搅拌桨（5）的底部和所述的直线状阳极（6）均与阴极基底（7）的表面平行。

4.一种多线阳极并行布置的扫描式电沉积加工方法，其特征在于：它包括如下步骤：

S1：将3~5个含有直线状阳极（6）的搅拌桨（5）等间距地安设在搅拌桨安装架（4）上；

S2：调整直线状阳极（6）的位置状态，使之与水平放置的阴极基底（7）的间距为0.1~0.5mm，且与阴极基底（7）平行，并使直线状阳极（6）和阴极基底（7）均浸没于电解液中；

S3：所有的直线状阳极（6）与电沉积电源（9）的正极连接，阴极基底（7）与电沉积电源（9）的负极连接并接通；

S4：所有的直线状阳极（6）以距离阴极基底（7）的右侧边的一定距离的某处为起点位置，同步向左做匀速直线运动，各直线状阳极（6）依次经过阴极基底（7）的右侧边进入阴极基底（7）的上方，在此过程中，每个直线状阳极（6）一到达阴极基底（7）的右侧边就自动与电沉积电源（9）接通并带电；

S5：直线状阳极（6）继续同步向左运动，并依次驶离阴极基底（7），当所有的直线状阳极（6）都越过阴极基底（7）的左侧边后，直线状阳极（6）停留在距离阴极基底（7）的左侧边一定距离的终点位置，在此过程中，每一个直线状阳极（6）一到达阴极基底（7）的左侧边就自动与电沉积电源（9）断开失电；

S6：所有的直线状阳极（6）自终点位置同步向右做匀速直线运动，各直线状阳极（6）依次经过阴极基底（7）的左侧边进入阴极基底（7）的上方，在此过程中，每个直线状阳极（6）一到达阴极基底（7）的左侧边就自动与电沉积电源（9）接通并带电；

S7：直线状阳极（6）继续同步向右运动，并依次驶离阴极基底（7），当所有的直线状阳极（6）都越过阴极基底（7）的右侧边后，直线状阳极（6）停留在阴极基底（7）的右侧边的起点位置，在此过程中，每一个直线状阳极（6）一到达阴极基底（7）的左侧边就自动与电沉积电源（9）断开失电；

S8：重复S4、S5、S6、S7的步骤，直到沉积层达到所要求的厚度时，停止电沉积。