[发明专利]一种用于半导体芯片检测的转盘载料机构在审
申请号: | 201910158710.X | 申请日: | 2016-12-26 |
公开(公告)号: | CN109860090A | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 黄红梅 | 申请(专利权)人: | 黄红梅 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 转盘 检测装置 半导体芯片 检测 转轴 取料装置 检测孔 载具 操作显示屏 配电控制箱 检测工序 转动电机 转轴套 穿出 上套 配合 一体化 穿过 | ||
1.一种用于半导体芯片检测的转盘载料机构,包括机架(1)和配电控制箱(2)其特征在于,所述的机架(1)上设置有相互配合的中部转盘检测装置(6)和侧部转盘检测装置(7),所述的中部转盘检测装置(6)包括与中部转动电机连接的逆时针转动的中部转轴(11),所述的中部转轴(11)从下至上依次套接有中部检测转盘(12)和中部安装转盘(13),所述的中部检测转盘(12)上均匀的开设有检测孔,且中部安装转盘(13)上安装有穿出检测孔的取料装置(14),所述的侧部转盘检测装置(7)包括与侧部转动电机连接的侧部转轴(33),所述的侧部转轴(33)上套接有侧部转盘(34),所述的侧部转盘(34)上设置有与半导体芯片配合的载具,所述的侧部转盘(34)位于中部检测转盘(12)的下部,且侧部转盘(34)与中部检测转盘(12)配合时,侧部转盘(34)上的一个载具与穿过中部检测转盘(12)的一个取料装置(14)对接,所述的中部转动电机、侧部转动电机和取料装置(14)连接到配电控制箱(2)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片检测的转盘载料机构,其特征在于,所述的取料装置包括设置在中部安装转盘(13)上的取料安装座(19)和取料升降气缸(20),所述的取料升降气缸(20)与取料安装座(19)内安装的取料升降杆(21)连接,所述的取料升降杆(21)穿出中部检测转盘(12)内的检测孔,且取料升降杆(21)的下方设置有与半导体产品配合的取料吸盘(22),所述的取料升降气缸(20)和取料吸盘(22)连接到配电控制箱(2)。
3.根据权利要求2所述的一种用于半导体芯片检测的转盘载料机构,其特征在于,所述的中部检测转盘(12)位于检测孔的位置设置有与取料升降杆(21)配合的取料限位块(23),所述的取料升降杆(21)上设置有取料减震弹簧(24)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造