[发明专利]一种基于CCD的激光位移探测器在审

专利信息
申请号: 201910159418.X 申请日: 2019-03-04
公开(公告)号: CN109813234A 公开(公告)日: 2019-05-28
发明(设计)人: 何晓业;陈佳鑫;王巍;张海艇;汪昭义 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 杨学明;顾炜
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 激光器 探测器 多轴定位 固定架 激光位移探测器 定位基准 光强分布 整体安装 激光束 缩束器 发生位置 工程监测 基准位置 激光对准 位置监测 中心对准 偏移 应用
【权利要求书】:

1.一种基于CCD的激光位移探测器,其特征在于:包括激光器(1)、缩束器(3)、CCD探测器(4)、第一多轴定位调节台(51)、第二多轴定位调节台(52)、激光器固定架(7)及探测器固定架(6);激光器(1)固定于激光器固定架(7)并整体安装于定位基准的第一多轴定位台(51)上,缩束器(3)与CCD探测器(4)固定在探测器固定架(6)上并整体安装于被测基准的第二多轴定位台(52)上,激光器(1)与缩束器(3)、CCD探测器(4)通过调节多轴定位台实现中心对准。

2.根据权利要求1所述的基于CCD的激光位移探测器,其特征在于:使用缩束器对激光束进行缩小处理,缩束器(3)与CCD探测器(4)通过探测器固定架(6)的机械结构保证中心对准。

3.根据权利要求1所述的基于CCD的激光位移探测器,其特征在于:通过首次CCD探测器(4)测定激光束的基准位置,若定位基准与被测基准发生位置偏移,通过探测器再次获取激光束的成像位置,即可测出被测基准与激光对准基准的相对偏差。

4.根据权利要求1所述的基于CCD的激光位移探测器,其特征在于:计算光强分布在CCD探测器(4)成像的偏差,以获得定位基准与被测基准的位置。

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