[发明专利]一种补温调温退火炉系统

说明书

本发明涉及电子电路晶体零件领域，具体为一种补温调温退火炉系统。一种补温调温退火炉系统，包括炉主体和互补调温器，所述互补调温器通过补偿通气管和炉主体连接，其中：所述互补调温器包括调温仓、冷凝抽真空管、机械抽气真空管、冷凝抽真空泵、机械抽气真空泵；调温仓通过头端的补偿通气管和炉主体连接，调温仓内设置电加热片堆，调温仓尾端接通冷凝抽真空管，冷凝抽真空管尾端向下连接冷凝抽真空泵，机械抽气真空管连接机械抽气真空泵，机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接，补偿通气管连接通过调温仓至冷凝抽真空管接通冷凝抽真空泵形成抽真空通路；所述调温仓的前仓壁上焊接或铰接有降温仓。

技术领域

本发明涉及电子电路晶体零件领域，具体为一种补温调温退火炉系统。

背景技术

温补晶振是一种石英晶体振荡器，其通过内部的温补晶振芯片中附加的温度补偿电路来补偿由周围 温度变化产生的晶体振荡频率变化，实现高精度的频率温度稳定度。温补晶振 广泛应用于各种通信设备中，如智能手机，无线对讲机，无线通信基站等；他的制作标准高，价值大，制作难度高，特别是制作过程中真空退火时候是关键，现有技术中的真空退火炉在密封性上都很有问题，以及自动化程度很低，但是如果增加制动化，如德国Unitemp真空快速退火炉、法国Annealsys高温真空退火炉等，价格过于昂贵，所以需要一种在现有基础上能自我添加改进的组件，增加自动化，但是又不增加企业成本。

发明内容

本发明的目的是提供一种补温调温退火炉系统，实现自动化，和最大化密封度，增加安全度，成本低，能比较方便的进行改造添加的一种补温调温退火炉系统，互补调温器的调温仓又额外设置能利用水冷进行比较快速的冷却，而且冷却不消耗过多的电能成本。

本发明是通过下述技术方案实现的：一种补温调温退火炉系统，包括炉主体和互补调温器，所述互补调温器通过补偿通气管和炉主体连接，其中：所述互补调温器包括调温仓、冷凝抽真空管、机械抽气真空管、冷凝抽真空泵、机械抽气真空泵；

调温仓通过头端的补偿通气管和炉主体连接，调温仓内设置电加热片堆，调温仓尾端接通冷凝抽真空管，冷凝抽真空管尾端向下连接冷凝抽真空泵，机械抽气真空管连接机械抽气真空泵，机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接，补偿通气管连接通过调温仓至冷凝抽真空管接通冷凝抽真空泵形成抽真空通路；所述调温仓的前仓壁上焊接或铰接有降温仓，降温仓内悬挂有水冷降温循环堆，水冷降温循环堆通过水循环管和降温仓外设置的水冷循环泵相连接；

所述机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接处的后方，冷凝抽真空管设置双向气阀，双向气阀上安装设置流量控制器；

所述炉主体的前舱门上设置有调节仓盖，所述炉主体的前舱门上设置有调节仓盖，所述调节仓盖包括加装仓盖板、主移动轨、封盖横架、封盖；

加装仓盖板上设置舱门，加装仓盖板在舱门的左右两侧或上下两侧设置两只一组平行设置的主移动轨，两只主移动轨之间横向架设封盖横架，封盖横架上设置紧压件设置槽，紧压件设置槽内悬挂有至少2只吸盘、1只升降气缸，1只压紧气缸，吸盘底部吸附着封盖，升降气缸的机轴铆接封盖并控制封盖在舱门表面的升降，压紧气缸的气缸轴底部设置橡皮压头，橡皮压头贴合在舱门表面；且封盖横架两侧底部匹配主移动轨位置设置微电机滑架，微电机滑架架设在主移动轨的滑轨槽中，随滑轨槽在主移动轨中移动，带动封盖横架在主移动轨上上下的移动；

所述降温仓包括外开仓盖、外立壁、底壁，底壁中心设置降温口和调温仓相通，外立壁一侧设置水冷降温循环堆的水循环接口，底壁在降温口边沿贴合设置T形架，降温仓内的水冷降温循环堆底部垫接有悬置抽拉板，悬置抽拉板的前端朝向外开仓盖一侧竖向设置竖向伸缩架杆。

作为优选所述所述机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接处的后方，冷凝抽真空管设置双向气阀，双向气阀上安装设置流量控制器。需要常温控制的时候可以在后端进行控制双向气阀限制冷凝抽真空管来源的冷却气体，主动只需要常温气体通过机械抽气真空管本输入互补调温器中，达到节约能源，或者需要调节成为常温时候的情况；