[发明专利]一种金刚石线切割液及其制备方法、应用和使用方法有效
| 申请号： | 201910159711.6 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111647453B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 奚美珍;魏鸣祥 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | C10M169/04 | 分类号： | C10M169/04;C10N40/22;B28D7/02 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 王崇 |
| 地址： | 518118 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 切割 及其 制备 方法 应用 使用方法 | ||
1.一种金刚石线切割液，其特征在于，以重量份数计，所述金刚石线切割液由15-25份的聚乙二醇、10-15份的二乙二醇、3-6份的增溶剂、4-8份的酸碱平衡剂、0.1-0.8份的渗透剂、0.1-0.8份的分散剂、0.1-1份的缓蚀剂和45-80份的水组成；
其中，所述分散剂含有1-萘酚、四聚乙醛和六聚乙二醇的共聚物；
其中，所述分散剂的羟值为90-106 mgKOH/g；
其中，所述增溶剂为异壬酸和/或新葵酸；
其中，所述酸碱平衡剂为三乙醇胺、碳酸钠、氢氧化钠和单乙醇胺中的一种或多种；
其中，所述渗透剂为脂肪醇聚氧乙烯醚。
2.根据权利要求1所述的金刚石线切割液，其特征在于，所述金刚石线切割液的pH值为6-8。
3.根据权利要求1所述的金刚石线切割液，其特征在于，所述聚乙二醇的分子量为200-600。
4.根据权利要求1所述的金刚石线切割液，其特征在于，所述渗透剂为异辛醇聚氧乙烯醚。
5.根据权利要求1所述的金刚石线切割液，其特征在于，所述缓蚀剂为苯并三氮唑、硅酸盐和硼酸盐中的一种或多种。
6.一种金刚石线切割液的制备方法，其特征在于，该制备方法包括将权利要求1-5中任意一项所述的金刚石线切割液的组分进行混合。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，该制备方法包括以下步骤：（1）将水、聚乙二醇、二乙二醇、缓蚀剂搅拌混合；
（2）将渗透剂、分散剂与步骤（1）得到的混合物搅拌混合；
（3）向步骤（2）得到的混合物中依次加入增溶剂、酸碱平衡剂，搅拌混合。
8.权利要求1-5中任意一项所述的金刚石线切割液或由权利要求6或7所述的制备方法制得的金刚石线切割液在切割单晶硅和多晶硅上的应用。
9.一种金刚石线切割液的使用方法，其特征在于，包括将权利要求1-5中任一项所述的金刚石线切割液或由权利要求6或7所述的制备方法制得的金刚石线切割液与稀释剂混合后使用。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于比亚迪股份有限公司，未经比亚迪股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910159711.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
