[发明专利]一种铋氧硫二维材料的制备方法及光电探测器有效
申请号: | 201910160610.0 | 申请日: | 2019-03-04 |
公开(公告)号: | CN109888031B | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 汪桂根;李梦秋 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学(深圳) |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032;H01L31/101;H01L31/108;H01L31/18;H01L21/02 |
代理公司: | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人: | 胡吉科 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铋氧硫 二维 材料 制备 方法 光电 探测器 | ||
1.一种基于铋氧硫二维材料的光电探测器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤S1:将铋氧硫二维材料的制备方法所获得的Bi2O2S二维材料分散在无水乙醇或去离子水中,在50至100℃保温数小时,至材料完全烘干;
步骤S2:将所获得Bi2O2S二维材料分散在无水乙醇或去离子水中,经热喷涂后转移到硅片基底;
步骤S3:将表面附有Bi2O2S二维材料的硅片基底在氩气氛围管式炉中,在100至350℃下退火1至3h;
步骤S4:将金属掩膜版紧贴在表面附有Bi2O2S二维材料的硅片基底上,固定好后在基片表面蒸镀电极,以实现光电探测器的制备;
铋氧硫二维材料的制备方法包括如下步骤:
步骤1:将硫脲分散在去离子水中,磁力搅拌至完全溶解后加入柠檬酸铋铵;
步骤2:将步骤1中的溶液搅拌均匀后加入氢氧化钾,浓度为0.2至4.0mol/L,并在室温下搅拌1至3h;
步骤3:将搅拌后的混合溶液,转移至耐高温的对位聚苯反应釜中,并在25至220℃保温3至48h;
步骤4:用去离子水或无水乙醇两种溶剂交替清洗产物,并以3000至10000转/分钟的转速离心3至8min,交替清洗2至6次,从而制备Bi2O2S二维材料。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在所述步骤4中,以4500r/min的转速离心5min,交替清洗6次得到Bi2O2S二维材料。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:铋氧硫二维材料的制备方法还包括步骤5,在所述步骤5中,将所获得的Bi2O2S二维材料分散在无水乙醇或去离子水中,在50至100℃保温6~24小时至材料完全烘干,然后将烘干后的产物充分研磨成均匀细致的粉末。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:铋氧硫二维材料的制备方法还包括步骤6,在所述步骤6中,将所获得的Bi2O2S二维材料,分散在无水乙醇或去离子水中;然后将硅片基底在加热台上以50至150℃预热数分钟,然后将产物分散液经热50至150℃喷涂转移至硅片表面。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:铋氧硫二维材料的制备方法还包括步骤8,在所述步骤8中,首先将金属掩膜版紧贴在基底表面,用耐高温胶带或螺钉将其固定在热蒸镀基片上面;然后真空蒸镀电极,制备光电探测器;最后将器件在100至350℃下退火1至3h。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在所述步骤1中,硫脲添加量为6mmol。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在所述步骤3中,混合溶液体积为60ml。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:铋氧硫二维材料的制备方法还包括步骤6,在所述步骤6中,将所获得Bi2O2S二维材料分散在无水乙醇中,浓度为0.5g/100ml,经热喷涂后转移到硅片基底。
9.一种光电探测器,其特征在于:将采用权利要求1至8任一项所述制备方法应用于该光电探测器中。
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