[发明专利]一种光学元件子口径抛光夹具

权利要求书

1.一种光学元件子口径抛光夹具，其特征在于，包括：

二维调平台，用于进行光学元件的调平作业；

支撑板，所述支撑板设置于所述二维调平台，且用于放置所述光学元件；

多个弧形延拓挡板，多个所述弧形延拓挡板紧挨所述支撑板的外侧壁设置，且多个所述弧形延拓挡板依次首尾连接形成便于所述光学元件进行抛光作业的容腔；

定位挡块，所述定位挡块设置于所述二维调平台，且穿过所述弧形延拓挡板伸向所述支撑板，用于定位并抵紧对应位置上的所述支撑板。

2.根据权利要求1所述的光学元件子口径抛光夹具，其特征在于：

所述支撑板的形状与所述光学元件的形状相匹配，且所述支撑板的上表面的平面度优于20μm；

其中，所述支撑板为等厚的对称结构或楔形结构。

3.根据权利要求2所述的光学元件子口径抛光夹具，其特征在于：

所述支撑板的侧面开设有多个螺纹孔，所述弧形延拓挡板通过所述螺纹孔与所述支撑板连接；

所述支撑板上还开设有通槽，所述通槽用于便于所述支撑板的安装与拆卸。

4.根据权利要求3所述的光学元件子口径抛光夹具，其特征在于：

所述弧形延拓挡板朝向所述支撑板的一侧开设有多个通孔，多个所述通孔与多个所述螺纹孔一一对应设置，且所述通孔用于使得所述支撑板与所述弧形延拓挡板连接时，所述弧形延拓挡板具有上下调节量。

5.根据权利要求1所述的光学元件子口径抛光夹具，其特征在于：

所述弧形延拓挡板的上表面呈球面，且当所述光学元件为球面元件时，所述弧形延拓挡板的上表面球面的球面半径与所述球面元件的球面半径一致；当所述光学元件为非球面元件时，所述弧形延拓挡板的上表面球面的球面半径与所述非球面元件的最接近球面半径一致。

6.根据权利要求1所述的光学元件子口径抛光夹具，其特征在于：

所述弧形延拓挡板的底部开设有开口，所述开口与所述定位挡块对应设置，所述定位挡块用于穿过所述开口与所述支撑板抵接；

且所述弧形延拓挡板的材料为聚四氟乙烯或尼龙。

7.根据权利要求1所述的光学元件子口径抛光夹具，其特征在于：

所述二维调平台上具有沿相互垂直的X方向和Y方向间隔均匀布置的多个安装孔，所述支撑板通过所述安装孔与所述二维调平台连接；

且所述的二维调平台水平所述X方向和所述Y方向角度的调节分辨率优于3，调平后元件在所述X方向和所述Y方向的角度误差≤10。

8.根据权利要求1所述的光学元件子口径抛光夹具，其特征在于：

所述二维调平台靠近其底座的一端包括一个固定支撑点和两个浮动支撑点形成的三点支撑结构，且所述固定支撑点为球铰连支撑点，所述浮动支撑点为螺纹连接的微量上下移动支撑点。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的光学元件子口径抛光夹具，其特征在于：

所述二维调平台悬空位置采用独立支撑柱支撑，以实现在所述光学元件调平后二维调平台的悬空位置支撑，从而防止在预设负载下加工时所述二维调平台悬空位置出现让刀现象；

其中，所述独立支撑柱包括上顶块和下顶块，所述上顶块和所述下顶块螺纹连接，所述上顶块为半球形，且朝向所述二维调平台设置。

10.根据权利要求9所述的光学元件子口径抛光夹具，其特征在于：

所述光学元件子口径抛光夹具还包括弹性件，所述弹性件具有至少两根弹簧，所述弹簧连接在所述二维调平台的中部与底板之间，且弹簧被用于避免所述光学元件在调平过程中所述二维调平台出现间隙。