[发明专利]柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置

权利要求书

1.柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：包括若干级气体混合子单元顺次连接组成的气体混合单元，所述的气体混合子单元包括导流混合舱（16）和混合舱（7），所述的混合舱（7）为空心管状，混合舱（7）的侧壁两端边缘分别设置有环形进气带（4）和环形出气带（5），所述的混合仓（7）的环形进气带（4）与导流混合舱（16）出气端连通，所述的混合仓（7）的环形出气带（5）与下一级气体混合子单元内的导流混合舱（16）的进气端连通，气体混合子单元内的混合舱（7）两端的进气端和出气端均密封；

所述的气体混合单元前置第一混合舱（15），第一混合舱（15）的环形出气带（5）与第一级气体混合子单元内导流混合舱（16）的进气端连通，第一混合舱（15）的出气端密封，第一混合舱（15）的进气端与反应气体混合室（14）连通，第一混合舱（15）的环形进气带（4）与工作气体储气舱（6）连通；

所述的反应气体混合室（14）与至少一个反应气体进气口连通，所述的工作气体储气舱（6）与至少一个工作气体进气口（3）连通；

所述的环形进气带（4）环形分布若干个进气喷嘴（12），所述的进气喷嘴（12）的轴向沿环形进气带（4）的径向分布，所述的进气喷嘴（12）的孔径大小由管壁外侧到管壁内侧逐渐减小，所述的环形出气带（5）环形分布若干个出气喷嘴（13），所述的出气喷嘴（13）的轴向沿环形出气带（5）的径向分布，所述的出气喷嘴（13）的孔径大小由管壁内侧到管壁外侧逐渐减小。

2.如权利要求1所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的反应气体混合室（14）分别与第一反应气体进气口（1）和第二反应气体进气口（2）连通，所述的工作气体储气舱（6）与一个工作气体进气口（3）连通。

3.如权利要求2所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的气体混合单元由四级气体混合子单元顺次连接组成，第一级气体混合子单元导流混合舱（16）的进气端与第一混合舱（15）的环形出气带（5）连通，第四级气体混合子单元的混合舱（7）的出气端与混合气体出气口（11）连通。

4.如权利要求1所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的气体混合单元由内气管和外气管两根导气管相互嵌套形成，内气管内等间距的设置若干个混合舱隔板（8），所述的混合仓隔板（8）与内气管轴向垂直，所述的混合仓隔板（8）数量与气体混合子单元数量相同；所述的外气管内设置若干个环形导流室隔板（9），所述的导流室隔板（9）设置于混合舱（7）侧壁的中央位置；相邻混合舱隔板（8）之间形成混合舱（7），相邻导流室隔板（9）之间形成导流混合舱（16）。

5.如权利要求4所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的反应气体混合室（14）的出气口与内气管的进气端连通，最靠近内气管的进气端的混合舱隔板（8）与内气管的进气端之间形成第一混合舱（15），所述的反应气体混合室（14）外侧套有工作气体储气舱（6），所述的工作气体储气舱（6）与相邻的导流混合舱（16）之间设置有导流室隔板（9）。

6.如权利要求4所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的导流混合舱（16）内设置有导流板（10），所述的导流板（10）为环形板，所述的导流板（10）固定安装在内气管的外表面。

7.如权利要求6所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的导流板（10）的宽度为导流室隔板（9）宽度的二分之一，所述的导流板（10）设置在相邻两导流室隔板（9）之间的中央位置。

8.如权利要求1所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的进气喷嘴（12）和出气喷嘴（13）的大径端直径均为1mm，小径端直径均为0.2mm。