[发明专利]一种混酸溶液中银离子浓度在线测量装置

说明书

本发明公开了一种混酸溶液中银离子浓度在线测量装置，样品注入管、液位传感器、去离子水注入管、PH电极和电位传感器均竖直插入测量池内，且样品注入管的下端口与去离子水注入管的下端口相齐平，液位传感器的底端面、PH电极的底端面以及电位传感器的底端面对应与测量池内底面之间距离逐渐变大，调速电机的输出轴伸于测量池内，在调速电机的输出轴上固定搅拌叶，搅拌叶位于液位传感器的底端面下方，样品注入管的下端口位于电位传感器的底端面上方；所述液位传感器、调速电机、PH电极、电位传感器对应与控制单元相连，控制单元与运算处理单元相连。本发明应用于混酸溶液中银离子浓度测量具有结构简单、无运行耗材、测量精度高的优点。

技术领域：

本发明涉及一种混酸溶液中银离子浓度在线测量装置。

背景技术：

目前，在TFT、OLED、电子相关行业的制程中，分析测量混酸溶液（硝酸、磷酸、醋酸）中银离子浓度的方法主要有两种方法：一、使用化学中和滴定法；二、使用光谱分析法。化学中和滴定法虽然可以比较准确的测量混酸中的银离子含量，但是此种测量方法设备结构复杂、需要消耗高纯度氢氧化钠溶液、EG溶液等耗材，设备运营成本高，日常保养维护复杂。光谱分析法设备结构比较简单，但是仪器昂贵，建模过程复杂，设备开发周期长。

发明内容：

本发明是为了解决上述现有技术存在的问题而提供一种混酸溶液中银离子浓度在线测量装置。

本发明所采用的技术方案有：一种混酸溶液中银离子浓度在线测量装置，包括控制单元、运算处理单元和测量池单元，所述测量池单元包括样品注入管、液位传感器、去离子水注入管、调速电机、PH电极、电位传感器和测量池，所述样品注入管、液位传感器、去离子水注入管、PH电极和电位传感器均竖直插入测量池内，且样品注入管的下端口与去离子水注入管的下端口相齐平，液位传感器的底端面、PH电极的底端面以及电位传感器的底端面对应与测量池内底面之间距离逐渐变大，调速电机的输出轴伸于测量池内，在调速电机的输出轴上固定搅拌叶，搅拌叶位于液位传感器的底端面下方，样品注入管的下端口位于电位传感器的底端面上方；所述液位传感器、调速电机、PH电极、电位传感器对应与控制单元相连，控制单元与运算处理单元相连。

进一步地，所述控制单元包括精密注射泵、精密调压阀、电位变送器以及PH信号变送器，所述精密注射泵与样品注入管相连，精密调压阀与去离子水注入管相连，电位变送器与电位传感器相连，PH信号变松器与PH电极。

进一步地，所述运算处理单元采用型号为FX3U PLC运算处理系统。

进一步地，所述液位传感器的型号为LQS-1100。

进一步地，所述PH电极的型号为PH-HAD-026。

进一步地，所述电位传感器的型号为EAG-CZ010。

进一步地，所述调速电机的输出轴位于测量池的中心处。

本发明具有如下有益效果：

1）本发明应用于混酸溶液中银离子浓度测量具有结构简单、无运行耗材、测量精度高的优点；

2）本发明能精确测量被测溶液中所含银离子的浓度（0~100000ppm），可应用在微电子制造业相关行业的湿制程溶液中银离子浓度含量的在线分析测量。

附图说明：

图 1 为本发明在线测量装置的结构示意图。

图 2 为本发明中测量池的结构示意图。

图 3 为本发明中控制单元的原理框图。

图 4 为本发明中运算处理单元的原理框图。

具体实施方式：

下面结合附图对本发明作进一步的说明。