[发明专利]样品成像系统、样品成像方法、计算机存储介质及计算机装置

权利要求书

1.一种样品成像系统，其特征在于，包括：沿光轴共轴排列的光源、探针光斑产生器件、样品台、步进电机、图像传感器、漂移反馈矫正系统以及图像重建系统；

所述光源，用于产生相干光源；

所述探针光斑产生器件，用于接收所述相干光源，并经衍射形成探针光斑输出；

所述样品台，用于装载样品，所述样品一侧对应供探针光斑照射；

所述步进电机，连接并驱动所述样品台进行运动，所述运动包括：沿光轴前后运动、垂直光轴运动；

所述图像传感器，设于样品另一侧，用于采集样品的衍射图样；

所述漂移反馈矫正系统，耦接所述步进电机及所述图像传感器，用于控制步进电机驱动所述样品台在垂直于光路的平面内做上下左右方向固定步长的位移，将样品待测区域划分为了邻域部分重叠的多个局部扫描探测区域，所述图像传感器位于目标样品后采集衍射信号，对应每个局部扫描探针区域收集一幅衍射图样，共收集到多幅衍射图样；根据由每个衍射图样得到的探针光斑的平均形貌来分别确定样品局部扫描位置对应的样品投影局部轴向漂移量，并将样品投影局部轴向漂移量作为反馈参数，令步进电机驱动样品台及样品反向移动与根据反馈参数确定的偏移量相等的距离，对样品投影局部轴向漂移量进行校正；其中，样品投影局部轴向漂移量根据由每个探针光斑的平均形貌分别获得的对应各探针光斑的平均形貌的多个光斑波前获得；根据由衍射图样得到的探针光斑的平均形貌获得多个光斑波前包括：将接收到的衍射图样导入相位恢复重建算法进行迭代重建直到收敛，得到各探针光斑的平均形貌，再根据菲涅尔衍射积分理论将所得到的探针光斑的平均形貌向前后以固定距离为单位各传输一定距离，一共得到多个沿光轴方向顺次排列的光斑波前；根据获得的多个光斑波前来确定样品局部扫描位置对应的样品投影局部轴向漂移量包括：将多个对应不同传输距离的光斑波前分别与样品该扫描位置点乘，再将其经傅里叶变换到频域，取两者之间距离的模值，计算各模值与该扫描位置的衍射图样的差异，并画出差异曲线，令差异最小点对应的光轴方向传输距离为该扫描位置的样品投影局部轴向漂移量；

所述图像重建系统，耦接所述图像传感器，根据校正样品投影局部轴向漂移量之后的各衍射图样进行图像重建，形成样品图像。

2.根据权利要求1所述的样品成像系统，其特征在于，所述相干光源为激光光源。

3.一种样品成像方法，其特征在于，应用于如权利要求1或2所述的样品成像系统。

4.一种计算机存储介质，其特征在于，存储有计算机程序，所述计算机程序运行时实现如权利要求3所述的样品成像方法。

5.一种计算机装置，其特征在于，包括：

一或多个存储器，用于存储计算机程序；

一或多个处理器，用于执行如权利要求3所述的样品成像方法。