[发明专利]基板研磨系统

权利要求书

1.一种基板研磨系统，用于研磨基板研磨层，其中，包括：

接收部，其在所述基板的研磨工序中接收含有所述研磨层的厚度信息的接收数据；

控制部，其利用在所述研磨工序开始后接收的所述接收数据，获得关于所述接收数据的变动推移的预测拟合函数(predict fitting function)，从而预测所述研磨层的厚度变化。

2.根据权利要求1所述的基板研磨系统，其中，

所述预测拟合函数的结果值是关于所述研磨层的厚度值、所述研磨层的单位时间研磨率、所述接收数据中任意一个以上的函数。

3.根据权利要求1所述的基板研磨系统，其中，

在研磨工序中，所述控制部通过所述预测拟合函数预测所述研磨层达到目标厚度的研磨结束时间点。

4.根据权利要求1所述的基板研磨系统，其中，

所述预测拟合函数利用随着所述研磨工序的进行而追加获得的接收数据进行更新。

5.根据权利要求4所述的基板研磨系统，其中，

所述预测拟合函数是，将反映了以第一时间段(△T1)内的接收数据为基础算出的一次拟合函数的原有预测拟合函数(FFy)，以及以具有比所述第一时间段(△T1)结束时刻更晚结束时刻的第Tx时间段(△Tx)内的接收数据为基础算出的x次拟合函数进行重叠而更新的。

6.根据权利要求5所述的基板研磨系统，其中，

所述原有拟合函数与所述x次拟合函数借助于按1:100至100:1的比率赋予加权值并进行重叠而获得所述预测拟合函数。

7.根据权利要求5所述的基板研磨系统，其中，

所述第一时间段(△T1)与所述第Tx时间段(△Tx)部分地包括相互重复的时间。

8.根据权利要求5所述的基板研磨系统，其中，

所述原有预测拟合函数是，将以所述第一时间段(△T1)内的接收数据为基础算出的所述一次拟合函数、以及以晚于所述第一时间段(△T1)结束时刻但早于所述第Tx时间段(△Tx)的结束时间的一个以上第二时间段(△T2)内的接收数据为基础算出的二次拟合函数进行重叠而获得的。

9.根据权利要求5所述的基板研磨系统，其中，

所述第一时间段(△T1)与所述第Tx时间段(△Tx)为相同的时间长度(timeduration)。

10.根据权利要求5所述的基板研磨系统，其中，

所述第一时间段(△T1)与所述第Tx时间段(△Tx)为互不相同的时间长度(timeduration)。

11.根据权利要求5所述的基板研磨系统，其中，

在获得所述x次拟合函数的过程中，如果根据所述原有预测拟合函数而预测的预测值与从所述接收数据获得的测量值的偏差大于预设范围，则在更新所述原有预测拟合函数时，排除超过预设范围的测量值。

12.根据权利要求5所述的基板研磨系统，其中，

如果根据所述原有预测拟合函数预测的预测值与从所述接收数据获得的测量值的偏差小于预设范围，则不进行所述预测拟合函数的更新。

13.根据权利要求5所述的基板研磨系统，其中，

所述预测拟合函数是关于所述研磨层厚度的函数，将所述预测拟合函数的值成为目标厚度的时间点预测为研磨结束时间点。

14.根据权利要求1所述的基板研磨系统，其中，

所述预测拟合函数的形式根据所述研磨层的材质而预先确定。

15.根据权利要求14所述的基板研磨系统，其中，

所述研磨层为金属层，所述接收数据为涡电流信号。