[发明专利]一种基于移动平台的单粒子效应测试装置及方法

权利要求书

1.一种基于移动平台的单粒子效应测试装置，包括试验桌(4)，其特征在于，还包括：

移动平台(3)，设置在所述试验桌(4)的一侧，所述移动平台(3)上设有可转动的器件夹具(8)，测试器件(7)通过所述器件夹具(8)固定在所述移动平台(3)上，以实现所述测试器件(7)的空间位置平移和转动操作；

辐照单元(10)，设置在所述试验桌(4)的另一侧，用于输出离子束流；

测量单元(20)，设置在所述移动平台(3)和辐照单元(10)之间的所述试验桌(4)上，用于记录和测量所述测试器件(7)上单个或多个待测芯片的位置信息和高度信息。

2.根据权利要求1所述的单粒子效应测试装置，其特征在于，所述辐照单元(10)包括用于保持真空环境的束流管道(1)，以及设置在所述束流管道(1)的出口前方并用于引出离子束流的真空窗(2)。

3.根据权利要求2所述的单粒子效应测试装置，其特征在于，所述测量单元(20)包括用于记录所述测试器件(7)上单个或多个待测芯片位置信息的定位摄像头(5)和用于测量所述测试器件(7)上单个或多个待测芯片高度信息的测距仪(6)。

4.根据权利要求3所述的单粒子效应测试装置，其特征在于，所述定位摄像头(5)具有智能视觉传感器，能够采集所述测试器件(7)的二维平面图，并保存用户选择的待测芯片的位置信息。

5.根据权利要求3所述的单粒子效应测试装置，其特征在于，所述测距仪(6)通过激光测量待测芯片表面和所述器件夹具(8)基准面之差，自动计算出待测芯片的高度，待测芯片的高度范围为0-5厘米。

6.根据权利要求3到5任一项所述的单粒子效应测试装置，其特征在于，所述移动平台(3)的最大承重重量为1公斤-30公斤，定位精度为0.025毫米-0.5毫米；所述移动平台(3)在沿所述试验桌(4)的两个水平方向以及垂直于桌面的方向的最大行程为0.5米-2米。

7.一种基于移动平台的单粒子效应测试方法，采用如权利要求3到6任一项所述的单粒子效应测试装置，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤一：通过器件夹具(8)将测试器件(7)固定在位移平台(3)上；

步骤二：通过位移平台(3)移动测试器件(7)到定位摄像头(5)下方拍照，记录测试器件(7)上待测芯片的位置信息；

步骤三：将测试器件(7)通过位移平台(3)移动到测距仪(6)下方，测量测试器件(7)所选取的一个或多个待测芯片的高度信息；

步骤四：将测试器件(7)通过位移平台(3)移动到真空窗(2)正前方位置；

步骤五：选取测试器件(7)上的待测芯片作为测试对象，通过第二步和第三步记录待测芯片的位置信息和高度信息，位移平台(3)将测试器件(7)移动和旋转到设定的辐照距离和辐照角度；

步骤六：束流从经过真空窗(2)从束流管道(1)引出，辐照到待测芯片上，测试器件的单粒子效应。

8.根据权利要求7所述的单粒子效应测试方法，其特征在于，所述测试器件(7)含有一个或多个待测芯片；所述辐照角度范围为0-90度，所述辐照距离为0-1米。

9.根据权利要求7所述的单粒子效应测试方法，其特征在于，所述束流种类包括Ar、Kr、Xe、Bi，能量范围为1-2000兆电子伏/核子。

10.根据权利要求7所述的单粒子效应测试方法，其特征在于，所述单粒子效应测试装置的工作环境为大气条件，温度为5℃-40℃，相对湿度为0-75％。