[发明专利]一种干式屏蔽真空泵

权利要求书

1.一种干式屏蔽真空泵，其特征在于：包括电机定子(5)、电机转子(6)、电机壳体(7)、泵壳体(14)、从动轴系(15)和主动轴系(16)；其中，泵壳体(14)为轴向水平放置的中空柱体结构；电机壳体(7)为轴向水平放置的中空柱体结构；且电机壳体(7)与泵壳体(14)同轴对接；主动轴系(16)设置在电机壳体(7)和泵壳体(14)内部；且主动轴系(16)沿轴向位于电机壳体(7)的轴线处；从动轴系(15)设置在泵壳体(14)内部；且从动轴系(15)周线平行位于主动轴系(16)的上方；电机定子(5)和电机转子(6)均设置在电机壳体(7)的内部，且电机转子(6)包覆在主动轴系(16)的外壁；电机定子(5)设置在电机转子(6)的内壁与电机壳体(7)内壁之间。

2.根据权利要求1所述的一种干式屏蔽真空泵，其特征在于：所述主动轴系(16)包括主动转子(1)、主动轴系轴承(2)、主动齿轮(3)、主动轴(4)和主动轴端轴承(8)；其中，主动轴(4)为水平放置的杆状结构；主动转子(1)套装在主动轴(4)的轴向一端；主动轴(4)通过主动转子(1)与泵壳体(14)轴向一端内壁对接；主动轴系轴承(2)套装在主动轴(4)中部的外壁处；主动齿轮(3)套装在主动轴(4)中部的外壁处，且与主动轴系轴承(2)轴向对接；主动轴端轴承(8)套装在主动轴(4)的轴向另一端；主动轴(4)通过主动轴端轴承(8)与电机壳体(7)的轴向一端内壁对接。

3.根据权利要求2所述的一种干式屏蔽真空泵，其特征在于：所述从动轴系(15)包括从动转子(9)、从动轴(10)、从动轴系轴承(11)、从动齿轮(12)、从动轴端轴承(13)；其中，从动轴(10)为水平放置的杆状结构；从动转子(9)套装在从动轴(10)的轴向一端；从动轴(10)通过从动转子(9)与泵壳体(14)轴向一端内壁对接；从动轴系轴承(11)套装在从动轴(10)中部的外壁处；从动齿轮(12)套装在从动轴(10)中部的外壁处，且与从动轴系轴承(11)轴向对接；从动轴端轴承(13)套装在从动轴(10)的轴向另一端；从动轴(10)通过从动轴端轴承(13)与电机壳体(7)的轴向一端内壁对接。

4.根据权利要求3所述的一种干式屏蔽真空泵，其特征在于：所述主动齿轮(3)与从动齿轮(12)竖直方向位置对应，实现啮合传动。

5.根据权利要求4所述的一种干式屏蔽真空泵，其特征在于：所述从动转子(9)采用爪型或罗茨型或螺杆型的型线。

6.根据权利要求5所述的一种干式屏蔽真空泵，其特征在于：所述真空泵为干式泵，真空泵内部无液体润滑油。

7.根据权利要求6所述的一种干式屏蔽真空泵，其特征在于：所述主动齿轮(3)与从动齿轮(12)的传动比为1：1。

8.根据权利要求7所述的一种干式屏蔽真空泵，其特征在于：所述还包括主动轴端轴承(8)；主动轴端轴承(8)套装在主动轴(4)外壁，且沿轴向位于主动齿轮(3)和电机转子(6)之间；主动轴端轴承(8)的外壁与电机壳体(7)的内壁接触。

9.根据权利要求8所述的一种干式屏蔽真空泵，其特征在于：所述真空泵的工作过程为：

电机定子(5)通电后驱动电机转子(6)旋转，带动主动轴(4)旋转；实现主动转子(1)和主动齿轮(3)随主动轴(4)同步旋转；主动齿轮(3)与从动齿轮(12)啮合配合，驱动从动齿轮(12)反向同转速旋转；从动齿轮(12)带动从动轴(10)上的从动转子(9)同步旋转；实现主动转子(1)和从动转子(9)同转速反方向旋转工作，形成容积变化的容腔，抽吸气体工质，实现抽真空或增压。