[发明专利]一种沉积装置

权利要求书

1.一种沉积装置，其特征在于，包括：

a)真空系统：包括沉积腔室真空获取系统和阴极法兰及阳极筒真空获取系统，方式是通过机械泵和旋片分子泵获取；阴极装靶是在常压惰性气体保护下完成，沉积完成后阴极在阳极筒内通过插板阀保持真空度在1×10^-3-8×10^-3Pa；

b)阴极弧头：阴极弧头由阴极靶材、触发系统、陶瓷屏蔽系统、辅助阳极板，凹形冷却装置组成，凹形内冷却是通过液氮进行冷却，控制正常工作时靶材阴极温度在-20-50℃；其中辅助阳极系统与陶瓷屏蔽环间隙为1-3mm，阴极材料为Zn，Sn，Mg，Pb，Bi和Na；

c)调控线包：位于阴极顶部真空室外，底部距阴极顶部平面距离为10-110mm，线包长度50-100mm，匝数为10-10000匝；线包电流为-10-+10A，触发频率0-24Hz,脉宽为10-1200μs；

d)永磁体阳极筒：阳极筒内径Φ100-150mm，直径80mm，阳极筒长度为100-160mm；永磁体为环状内径为Φ120-170mm，永磁体顶端距阴极触发外平面距离为10-50mm，永磁体强度为10-400mT；

e)磁过滤直管：磁过滤直管内径为Φ60-150mm，长度为100-500mm，管内壁为锯齿状，齿高1-4mm；管外设置两个功能性磁场线包，一为过渡线包，长度为20-50mm，匝数为200-5000匝，电流为1-4A；一为聚焦线包，长度为20-50mm，匝数为200-5000匝，电流为1-4A，频率为1-50Hz；

f)真空室内聚焦线包：线包为铜管，高度为10-150mm，线包中铜线外径为φ10-12mm，内径为φ6-8mm，内部通入冷却水，电流100-1000A。

2.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于：阴极弧头中的阴极冷却装置为凹形间接水冷，阴极靶材镶嵌在凹形槽内，沉积过程中阴极靶材温度为-20-50℃。

3.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于：调控线包工作状态为可移动式，移动速度为0-±2mm/min，移动范围10-50mm。

4.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于：阳极筒为两种材料，靠近阴极0-80mm部分内外部为不锈钢材料，80-160mm为导磁材料，相对导磁率100-1000。

5.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于：真空室内聚焦线包中的铜管之间的距离为1-5mm；线包顶端距工件台20-100mm，线包引电接口以波浪状聚四氟乙烯绝缘。