[发明专利]包含结合垫和结合导线或夹子的半导体器件有效
申请号: | 201910175642.8 | 申请日: | 2019-03-08 |
公开(公告)号: | CN110246823B | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | A·毛德;H-J·舒尔策 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L23/485;H01L23/482;H01L29/739 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 舒雄文;蹇炜 |
地址: | 德国瑙伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包含 结合 导线 夹子 半导体器件 | ||
1.一种半导体器件,包括:
结合垫(300),包括:
基底部分(310),具有基底层(317);以及
主表面(301),具有结合区域(305);
结合导线或夹子(410),结合到所述结合区域(305);以及
补充结构(350),与邻接所述结合区域(305)的所述基底部分(310)直接接触,其中,所述补充结构(350)与所述结合导线或夹子(410)直接邻接或者与所述结合导线或夹子(410)水平地间隔开,其中,所述补充结构(350)的体积比热容高于所述基底层(317)的体积比热容,
其中,所述基底层(317)由铝或铝合金制成。
2.如权利要求1所述的半导体器件,其中,
所述结合垫(300)还包括帽部分(320),并且其中,所述补充结构(350)位于所述帽部分(320)与所述基底部分(310)之间。
3.如权利要求1所述的半导体器件,其中,
所述补充结构(350)限定所述结合区域(305)的边界。
4.如权利要求1所述的半导体器件,还包括:
密封结构(490),至少部分地包封所述结合导线或夹子(410),其中,所述补充结构(350)位于所述密封结构(490)与所述结合垫(300)之间,其中,所述补充结构(350)的所述体积比热容高于所述密封结构(490)的体积比热容。
5.如权利要求4所述的半导体器件,其中,
所述密封结构(490)包括硅凝胶和环氧树脂中的至少一种。
6.如权利要求4和5中的任一项所述的半导体器件,其中,
所述密封结构(490)将所述补充结构(350)与所述结合导线或夹子(410)分开。
7.如权利要求1至5中的任一项所述的半导体器件,其中,
所述补充结构(350)包括含有辅助材料的芯部分(355),所述辅助材料的体积比热容高于铜。
8.如权利要求7所述的半导体器件,其中,
所述辅助材料是含金属材料。
9.如权利要求8所述的半导体器件,其中,
所述含金属材料包括镍、氧化镍、镍合金、钴、银、碳化钨、黄玉和氟化锂中的至少一种。
10.如权利要求7所述的半导体器件,其中,
所述辅助材料包括酚醛树脂。
11.如权利要求7所述的半导体器件,其中,
所述补充结构(350)包括包封所述芯部分(355)的衬里部分(359)。
12.一种制造半导体器件的方法,其中,所述方法包括:
在半导体部分(100)上形成结合垫基底部分(310),其中,所述基底部分(310)还包括基底层(317);
形成包括结合区域(305)的结合垫主表面(301);
将结合导线或夹子(410)结合到所述结合区域(305);以及
直接在所述基底部分(310)上形成补充结构(350),其中,所述补充结构(350)与所述结合导线或夹子(410)横向地邻接或者与所述结合导线或夹子(410)横向地间隔开,其中,所述补充结构(350)的体积比热容高于所述基底层(317)的体积比热容,
其中,所述基底层(317)由铝或铝合金制成。
13.如权利要求12所述的方法,其中,
在所述结合导线或夹子(410)的结合之前形成所述补充结构(350)。
14.如权利要求13所述的方法,其中,
所述补充结构(350)通过丝网印刷、通过模版印刷或通过光刻形成。
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