[发明专利]一种质谱仪及质谱检测方法

权利要求书

1.一种质谱仪，其特征在于：包括依次连接的、内部均为真空状态的离子化腔室、质量分析器腔室、检测器腔室，所述离子化腔室、质量分析器腔室、检测器腔室内分别设有离子源、质量分析器、检测器，所述离子源和质量分析器通过离子光学系统连接，所述质量分析器外部设有电极，所述质量分析器腔室和检测器腔室之间通过仅电子能穿过的薄膜间隔。

2.如权利要求1所述的一种质谱仪，其特征在于：所述离子化腔室与质量分析器腔室贯通，且所述离子光学系统设于所述离子化腔室与质量分析器腔室的贯通处。

3.如权利要求1或2所述的一种质谱仪，其特征在于：所述离子化腔室、质量分析器腔室、检测器腔室为三个独立的腔体，或一个整体腔体内部的三个独立的腔室。

4.如权利要求1所述的一种质谱仪，其特征在于：所述离子化腔室、质量分析器腔室、检测器腔室中至少有一个连接真空泵。

5.如权利要求1所述的一种质谱仪，其特征在于：所述离子源连接采样系统。

6.如权利要求1所述的一种质谱仪，其特征在于：所述质量分析器为离子阱质量分析器或四极杆质量分析器。

7.如权利要求1所述的一种质谱仪，其特征在于：所述检测器为对电子具有倍增效果的装置；所述薄膜为氮化硅Si₃N₄薄膜。

8.如权利要求1所述的一种质谱仪，其特征在于：所述电极为纯金属电极，或纯非金属电极，或表面设有金属涂层的非金属电极。

9.一种利用权利要求1~8任一项所述的质谱仪实现的质谱检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：将待分析的样品置入离子源，样品在离子源中完成电离成为样品离子；

步骤2：将所述样品离子经过离子光学系统转移入质量分析器，并在质量分析器内完成质量分析，依次弹出；

步骤3：在质量分析器中弹出的样品离子撞击电极表面产生电子后，待所述电子穿过薄膜后进入检测器腔室，利用检测器收集和倍增，产生的电信号转化为质谱图信号，根据由离子源生成的样品离子的质荷比完成样品成分的检测。

10.如权利要求9所述的质谱检测方法，其特征在于：利用薄膜实现质量分析器和检测器的工作气压的差异化，将质量分析器在相对检测器的工作气压更高的工作气压下运行。