[发明专利]磁传感器

权利要求书

1.一种磁传感器，其特征在于，

具备：

第一检测部，用于检测外部磁场的第一分量，该第一分量是与第一方向平行的方向上的分量；

第二检测部，用于检测所述外部磁场的第二分量，该第二分量是与第二方向平行的方向上的分量；

第三检测部，用于检测所述外部磁场的第三分量，该第三分量是与第三方向平行的方向上的分量；以及

支撑所述第一至第三检测部的支撑部，

所述第一到第三方向彼此正交，

所述支撑部具有与所述第三方向正交的基准平面，

所述基准平面包括彼此不同的第一区域、第二区域和第三区域，

所述第一区域是将所述第一检测部垂直投影于所述基准平面上而得到的区域，

所述第二区域是将所述第二检测部垂直投影于所述基准平面上而得到的区域，

所述第三区域是将所述第三检测部垂直投影于所述基准平面上而得到的区域，

所述第一检测部包括设置于相互不同的位置的第一部分和第二部分，

所述第二检测部包括设置于相互不同的位置的第三部分和第四部分，

所述第一至第四部分和所述第三检测部中的各个包括至少一个磁检测元件，

所述第三检测部还包括由软磁材料制成的软磁性结构体；

所述第一区域包括将所述第一部分垂直投影于所述基准平面上而得到的第一部分区域、和将所述第二部分垂直投影于所述基准平面上而得到的第二部分区域，

所述第二区域包括将所述第三部分垂直投影于所述基准平面上而得到的第三部分区域、和将所述第四部分垂直投影于所述基准平面上而形成的第四部分区域，

当将穿过所述第三区域的重心并且垂直于所述第三方向且彼此正交的两条直线称为第一直线和第二直线时，所述第一部分区域和所述第四部分区域位于平行于所述第一直线的方向上的所述第三区域的两侧或单侧，所述第二部分区域和所述第三部分区域位于平行于所述第二直线的方向上的所述第三区域的两侧或单侧，

所述第一和第二部分中的各自产生对应于所述外部磁场的所述第一分量的检测值，所述第三和第四部分中的各自产生对应于所述外部磁场的所述第二分量的检测值。

2.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，

所述支撑部包括具有上表面的基板，

所述第一至第三检测部设置于所述基板的上表面上或上方，

所述基准平面是所述基板的上表面。

3.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，

包含于所述第一至第四部分以及所述第三检测部中的所有磁检测元件，配置于与所述基准平面相等距离的位置。

4.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，

所述软磁性结构体包括磁场转换部，该磁场转换部接收所述外部磁场的第三分量并输出垂直于所述第三方向的方向的输出磁场分量，

所述输出磁场分量的强度与所述外部磁场的第三分量的强度具有对应关系，

所述第三检测部检测所述输出磁场分量的强度。

5.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，

所述软磁性结构体包括至少一个软磁性层。

6.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，

所述第一部分区域和第二部分区域处于以下位置关系：从所述第三方向观察，当将所述第一部分区域以所述第三区域的重心为中心旋转90°时，则与所述第二部分区域重叠；

所述第三部分区域和第四部分区域处于以下位置关系：从所述第三方向观察，当所述第三部分区域以所述第三区域的重心为中心旋转90°时，则与所述第四部分区域重叠。

7.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，

所述至少一个磁检测元件是至少一个磁阻效应元件。