[发明专利]镜面可变角度绝对反射比法和反射计

说明书

本申请的发明名称是镜面可变角度绝对反射比法和反射计。镜面可变角度绝对反射计。该装置包括光源和光源的光路中的镜子系统。镜子系统被配置为将来自光源的光束朝向光学反射性的样品反射。该装置还包括在样品之后的光路中设置的角镜。角镜配置为将光束反射回样品。该装置还包括连接到角镜的机构。该机构配置为使角镜围绕样品的轴旋转。该装置还包括在角镜之后的光路中的检测器，使得检测器接收从角镜反射，然后回到样品，然后回到镜子系统，并且然后到达检测器的光。

技术领域

本公开内容涉及用于镜面可变角度绝对反射比的方法和装置。

背景技术

镜面反射是指来自诸如镜子的表面的光反射，其中来自入射方向的光被反射到出射方向。因此，镜面反射是可以使用光学设备测量的光的行为。

镜面反射比的精确绝对测量有几个应用。例如，该技术用于建立其他类型的反射比测量和光学测量装置校准的参考标准。在另一个实例中，该技术用于光学涂层工业中，以开发例如镜子的涂层，以便提高镜子的光学效率。在又另一个实例中，镜面反射比的精确绝对测量可用于测量单层光学涂层的厚度或折射率。

然而，当期望快速测试宽范围的入射角、光波长和光偏振时，难以测量绝对镜面反射比。因此，期望用于测量绝对镜面反射比的改进技术。

发明内容

说明性实施方式提供镜面可变角度绝对反射计。镜面可变角度绝对反射计包括光源和光源的光路中的镜子系统。镜子系统被配置为将来自光源的光束朝向光学反射性的样品反射。镜面可变角度绝对反射计还包括在样品之后的光路中设置的角镜(roof mirror)。角镜被配置为将光束反射回样品。镜面可变角度绝对反射计还包括连接到角镜的机构。该机构被配置为使角镜围绕样品的轴旋转。镜面可变角度绝对反射计还包括在角镜之后的光路中的检测器，使得检测器接收从角镜反射，然后回到样品，然后回到镜子系统，并且然后到检测器的光。

说明性实施方式还提供了测量具有样品轴的样品的反射比的方法。该方法包括将来自光源的光束投射朝向镜子系统。该方法还包括此后将来自镜子系统的光束朝向样品反射。样品围绕样品轴旋转第一角度。此后，该方法还包括将来自样品的光束朝向角镜反射，角镜围绕样品轴旋转第二角度。第二角度约为第一角度的两倍。此后，该方法还包括将来自角镜的光束反射回样品。此后，该方法还包括将来自样品的光束反射回镜子系统。此后，该方法还包括将来自镜子系统的光束朝向检测器反射，由此生成修改的光束。该方法还包括基于由检测器检测到的修改的光束的光学特性来计算样品的反射比。

说明性实施方式还提供了使用镜面可变角度绝对反射计的方法，所述镜面可变角度绝对反射计包括光源；在光源的光路中的镜子系统，该镜子系统配置为将光源的光束朝向光学反射性的样品反射；在样品后的光路中设置的角镜，该角镜配置为将光束反射回样品；连接到角镜的机构，该机构配置为围绕样品轴旋转角镜；和在角镜之后的光路中的检测器，使得检测器接收从角镜反射，然后回到样品，然后回到镜子系统，并且然后到检测器的光。该方法包括移出样品并验证样品架(sample holder)不限制光束。该方法还包括将角镜对准100％配置。该方法还包括在检测器处测量信号以形成100％测量值。该方法还包括在检测器处测量总光源功率。此后，该方法还包括移动镜子系统，以便将光束投射到光阱中以中断(interrupt)光源。此后，该方法还包括在检测器处测量背景噪声。该方法还包括，此后将镜子系统移回以接收光束。该方法还包括在光束的路径中替换样品。该方法还包括将样品旋转到期望的入射角。该方法还包括将角镜旋转到互补反射角。该方法还包括在检测器处测量样品反射以形成测量值。该方法还包括测量检测器处的总光源功率。此后，该方法还包括移动镜子系统，以便将光束投射到光阱中以中断光源。此后，该方法还包括在检测器处测量背景噪声。此后，该方法还包括将镜子系统移回以接收光束。该方法还包括计算样品的反射比为100％测量值的比率，利用背景补偿。该方法还包括将样品的绝对反射比计算为反射比对100％测量值的平方根。

附图说明