[发明专利]一种退火效果好的新型磁场退火炉

说明书

本发明公开了一种退火效果好的新型磁场退火炉，退火仓顶端和底部分别设置有二组加磁装置，供纵磁和横磁退火仓通过安装支架固定，安装支架一侧设置有温控装置，温控装置一侧设置有真空泵，退火仓、温控装置及真空泵通过线缆与电控箱相连，安装支架内侧设置有升降轨道，托料盘推送支架与升降轨道活动相连，托料盘推送支架远离升降轨道一端设置有托料盘，托料盘下表面设置有旋转电机，安装支架外侧底部设置有电机，导轨安装于安装支架内侧底部，导轨上设置有托架盘承载架，该发明结构合理，将退火件放置在托料盘上，当进入退火炉后，托盘通过旋转电机开始旋转，再通过磁场加热进行配合，退火效果大大提高。

技术领域

本发明涉及退火炉技术领域，具体为一种退火效果好的新型磁场退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

传统退火炉使用过程中退火件一般静置，退火时间较长，效率较低，因此，亟待一种改进的技术来解决现有技术中所存在的这一问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种退火效果好的新型磁场退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种退火效果好的新型磁场退火炉，包括退火仓、第一加磁装置、安装支架、温控装置、真空泵、电控箱、升降轨道、托料盘推送支架、旋转电机、托料盘、电机、导轨及托架盘承载架，所述退火仓顶端设置有第一加磁装置，所述退火仓通过安装支架固定，所述安装支架一侧设置有温控装置，所述温控装置一侧设置有真空泵，所述安装支架另一侧设置有电控箱，所述退火仓、温控装置及真空泵通过线缆与电控箱相连，所述安装支架内侧设置有升降轨道，所述托料盘推送支架与升降轨道活动相连，所述托料盘推送支架远离升降轨道一端设置有托料盘，所述托料盘下表面设置有旋转电机，所述安装支架外侧底部设置有电机，所述导轨安装于安装支架内侧底部，所述导轨上设置有托架盘承载架。

优选的，所述托料盘内部设置有旋转盘，所述托料盘内部的旋转盘与旋转电机相连，托料盘内部的旋转盘上垂直方向还设置有若干牵引柱。

优选的，所述托架盘承载架中间开有孔槽，所述旋转电机活动设置于孔槽内。

优选的，所述退火仓的内部顶端通过转轴与柱形加热主体相连，所述柱形加热主体外部均匀分布有若干磁加热杆，所述磁加热杆之间通过导线相连，任意一个所述磁加热杆通过导线与第一加磁装置相连，所述柱形加热主体底端外侧表面设置有若干扣片，所述扣片与托料盘内部的旋转盘相连，所述扣片通过导线与磁加热杆相连。

优选的，所述真空泵通过导管与电机相连。

优选的，一种退火效果好的新型磁场退火炉，其使用方法包括以下步骤：

步骤一：将退火部件放置在托料盘上，然后通过导轨将托架盘承载架连同托料盘移动至退火仓正下方；

步骤二：通过托料盘推送支架将托料盘夹持，并沿升降轨道上升，托料盘推送支架带动托料盘上升，使托料盘与退火仓底部接合，托料盘内部的旋转盘与扣片相连；

步骤三：退火仓通过真空泵将仓内抽成真空；

步骤四：旋转电机启动，带动托料盘内的旋转盘进行旋转，托料盘内的旋转盘上的牵引柱穿过扣片并带动柱形加热主体进行旋转，从而使退火件在炉内旋转，退火仓进行加磁加热，在恒定的温度下维持一段的时间，完成组件退火；