[发明专利]一种超精密静压线轨系统

说明书

本发明提供了一种超精密静压线轨系统，包括:静压线轨、静压线轨滑块以及节流组件，所述静压线轨滑块包括滑块本体，所述滑块本体的下表面上开设有用于供静压线轨穿过的凹槽，所述凹槽的内壁面上设置有多个静压油腔，所述节流组件设置于该滑块本体上并与所述多个静压油腔分别连通，以将根据输入的油液给各个所述静压油腔提供高压油液。本发明通过采用静压线轨滑块包裹静压线轨的方式，在保证长线轨运动精度的前提下降低成本。

技术领域

本发明涉及导轨领域，具体涉及一种超精密静压线轨系统。

背景技术

线性导轨作为一般的承载方式应用在各行各业，而静压技术则在精密机械中具有广泛应用，静压伺服、静压轴承模组是典型应用实例。

传统的静压导轨基于小行程进行传动，长的静压导轨（2m以上）很难加工，成本很高。静压导轨体积很大，为了满足高的承载力要求，需要保证导轨宽度，体积一般很难做的很小，传统的基于小孔静压节流方式集成度很低，较难实现模块化安装。

因此，现有技术存在缺陷，急需改进。

发明内容

本发明的目的是提供一种超精密静压线轨系统，通过采用静压线轨滑块包裹静压线轨的方式，可以提高静压导轨的长度并降低成本。

本发明提供了一种超精密静压线轨系统，包括:静压线轨、静压线轨滑块以及节流组件，所述静压线轨滑块包括滑块本体，所述滑块本体的下表面上开设有用于供静压线轨穿过的凹槽，所述凹槽的内壁面上设置有多个静压油腔，所述节流组件设置于该滑块本体上并与所述多个静压油腔分别连通，以将根据输入的油液给各个所述静压油腔提供高压油液。

在本发明所述的超精密静压线轨系统中，所述凹槽的内壁面上设置有附加层，所述静压油腔开设于所述附加层上。

在本发明所述的超精密静压线轨系统中，所述凹槽包括一底面以及与所述底面连接的两个相对设置的侧壁面；

所述多个静压油腔分别设置于所述底面以及所述侧壁面上。

在本发明所述的超精密静压线轨系统中，每一所述侧壁面包括第一垂直侧壁面、第一倾斜侧壁面、第二倾斜侧壁面以及第二垂直侧壁面；

所述第一倾斜侧壁面、所述第一垂直侧壁面、所述第二倾斜侧壁面、第二垂直侧壁面以及所述底面依次连接，所述第二倾斜侧壁面朝向靠近另一所述侧壁面的方向倾斜，所述第一倾斜侧壁面朝向远离另一所述侧壁面的方向倾斜，所述第一垂直侧壁面与所述第二垂直侧壁面共面且与所述底面垂直。

在本发明所述的超精密静压线轨系统中，所述底面、所述第一垂直侧壁面、第一倾斜侧壁面、第二倾斜侧壁面、第二垂直侧壁面以及所述底面上分别设置有一所述静压油腔。

在本发明所述的超精密静压线轨系统中，所述滑块本体设置有多个静压油液通道，所述节流组件分别通过一所述静压油液通道与一所述静压油腔连通。

在本发明所述的超精密静压线轨系统中，所述节流组件为薄膜节流器。

在本发明所述的超精密静压线轨系统中，每一所述静压油腔均呈条状，且所述静压油腔沿着所述凹槽的轴向延伸。

本发明通过采用静压线轨滑块包裹静压线轨的方式，可以提高静压导轨的长度并降低成本。

附图说明

图1是本发明一些实施例中的一种超精密静压线轨系统的结构示意图。

图2是本发明一些实施例中的一种静压线轨滑块的截面图。

具体实施方式