[发明专利]一种镀膜修正板在审
| 申请号： | 201910181022.5 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN109881165A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 裴立志;谢智威;晏柱;周伟杰 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 廖苑滨 |
| 地址： | 516600 广东省汕尾市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 支撑框架 修正板 滑块 开口区 开口形状 有效实现 应用范围广 镀膜效率 镀膜作业 伸缩运动 生产效率 真空条件 直接驱动 渐变膜 均一性 伸缩 镀制 修正 保证 配置 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种镀膜修正板，其特征在于，包括支撑框架和设于所述支撑框架上的多个滑块；所述支撑框架形成开口区，所述多个滑块配置为通过伸缩运动调整所述开口区的开口形状。
2.根据权利要求1所述的镀膜修正板，其特征在于，所述滑块为非导磁材料制成。
3.根据权利要求1所述的镀膜修正板，其特征在于，所述多个滑块配置为通过电机驱动进行伸缩运动。
4.根据权利要求1所述的镀膜修正板，其特征在于，所述多个滑块中的一个或多个滑块配置为可在支撑框架上伸缩运动，其余滑块配置为固定于所述支撑框架上。
5.根据权利要求1所述的镀膜修正板，其特征在于，所述多个滑块中的每个滑块均配置为可在支撑框架上伸缩运动。
6.根据权利要求1所述的镀膜修正板，其特征在于，多个滑块成左右对称分布于所述支撑框架上，包括第一组滑块和第二组滑块。
7.根据权利要求5所述的镀膜修正板，其特征在于，所述第一组滑块固定于支撑框架上，所述第二组滑块配置为可在支撑框架上伸缩运动。
8.根据权利要求5所述的镀膜修正板，其特征在于，所述第一组滑块和第二组滑块均配置为可在支撑框架上伸缩运动。
9.根据权利要求8所述的镀膜修正板，其特征在于，所述第一组滑块通过同一个电机驱动进行伸缩运动，所述第二组滑块通过同一个电机驱动进行伸缩运动。
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