[发明专利]密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒

说明书

本发明涉及一种能够在真空环境下更换密封构件的密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒，可包括：阀体，能够开闭腔室的通道；以及密封构件更换装置，利用至少一个以上密封构件或者设置有密封构件的密封板，即使在真空环境下也能够更换所述密封构件或者所述密封板，所述密封构件使用时，能够紧固到所述阀体，不使用时，能够以从所述阀体分离的状态在待机容纳部进行待机。

技术领域

本发明涉及一种密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒，更详细而言，涉及一种能够在真空环境下更换密封构件的密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒。

背景技术

通常，腔室是用于制造要求真空或者高洁净作业环境的半导体芯片、晶圆、LCD面板、OLED面板等尖端半导体装置或显示装置或者其他医疗设备的工业设备设施，是如下装置：设置在这种腔室的闸阀作为腔室的进出口发挥作用，打开入口将半导体芯片或晶圆等移动至腔室空间内，再次关闭入口使腔室内维持气密状态的装置。

这种现有闸阀的基本结构，如韩国专利授权第10-1252665号所记载，在阀壳内部安装用于开闭腔室通道的入口即阀体，所述阀体是通过驱动缸或致动器的驱动升降移动，从而能够选择性地开闭阀壳的通道的结构。

发明内容

技术问题

上述的现有的闸阀因形成于阀体的O型环等密封构件由于其材质特性弱，可能容易损坏，而且，暴露在高温、高压、工艺气体环境等所述腔室内部的严酷工序环境下，可能更容易腐蚀或损耗。

因此，以往为了更换闸阀中老化的密封构件，必须将腔室或阀壳内部的真空环境转换为大气环境之后，进行作业人员手动打开阀壳的盖，用手更换在所述阀体中的老化密封构件的更换作业。

然而，这种现有的依赖手动作业的密封构件更换作业存在如下诸多问题：打破所述腔室或者阀壳内部好不容易形成的真空环境，不仅中断工序进展，为了再次形成真空压力耗费大量时间等，导致大幅降低生产效率，且还存在所述腔室的内部和所述阀体暴露在外部空气中，可能被各种杂质污染等问题。

本发明旨在于为了解决这些问题点，提供密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒，其在内部更换老化的老化密封构件或者老化密封板，而能够始终使用全新密封构件或者全新密封板，利用料盒能够一次性装载及卸载多个密封构件或者密封板，即使在真空环境下也能够装载及卸载密封构件或者密封板，从而最大限度地降低密封构件更换时间，能够大幅提高生产效率，能够防止来自外部的污染。

然而，这些课题是例示性的，并非由此限定本发明的范围。

技术方案

用于解决所述课题的根据本发明的密封构件更换型闸阀系统可包括：阀体，能够开闭腔室的通道；以及密封构件更换装置，利用至少一个以上的密封构件或者设置有密封构件的密封板，即使在真空环境下也能够更换所述密封构件或者所述密封板，所述密封构件使用时，能够紧固到所述阀体，不使用时，能够以从所述阀体分离的状态在待机容纳部进行待机。

另外，根据本发明，所述待机容纳部可形成于阀壳的内部，与整齐地装有至少一个以上的所述密封构件或者所述密封板的料盒相对应地形成，所述阀壳形成为包围所述阀体的形状。

另外，根据本发明，所述料盒可以为第一料盒，所述第一料盒用于容纳将紧固到所述阀体的全新密封构件或者全新密封板。

另外，根据本发明，所述料盒可以为第二料盒，所述第二料盒用于容纳从所述阀体分离的老化密封构件或者老化密封板。

另外，根据本发明，所述料盒可包括：第一料盒，用于容纳将紧固到所述阀体的全新密封构件或者全新密封板；以及第二料盒，用于容纳从所述阀体分离的老化密封构件或者老化密封板。