[发明专利]探针与电子器件引脚的对准方法及系统

权利要求书

1.一种探针与电子器件引脚的对准方法，其特征在于，包括：

录入步骤，录入电子器件上所需对准的电子器件引脚的面积；录入电子器件引脚的表面材料信息和周围材料信息；所述电子器件引脚的表面材料信息包括电子器件引脚的表面材料在预定波段的反射率；所述电子器件引脚的周围材料信息包括电子器件引脚的周围材料在预定波段的反射率；

调节步骤，发出波长位于预定波段的光束，设置探针位于光束所经过的路径上或者设置探针位于光束所在的直线的延伸范围内；调节光束与电子器件表面相交形成的光斑；

计算步骤，根据所需对准的电子器件引脚的面积、光斑面积、电子器件引脚的表面材料信息和周围材料信息，计算预定对准光功率；预先计算出探针与电子器件引脚在对准状态下，光接收器处所接收到的反射信号光功率作为预定对准光功率；探针与电子器件引脚对准时，光斑和电子器件引脚位置重合，光斑完全覆盖或者部分覆盖电子器件引脚，所返回的反射信号光功率为电子器件引脚全部区域或者部分区域的反射信号光功率和与光斑相应的电子器件引脚周围材料的反射信号光功率之和；

扫描步骤，控制光束的运动轨迹，使光斑往复运动，在靠近电子器件引脚的区域进行逐点扫描，并接收返回的反射信号光功率；

处理步骤，当返回的反射信号光功率与预定对准光功率的差值的绝对值不大于预定差值时，确定探针的当前位置为所需对准的电子器件引脚的对准位置，完成对准过程。

2.根据权利要求1所述的探针与电子器件引脚的对准方法，其特征在于，所述处理步骤还包括：

当电子器件上设置有若干个电子器件引脚时，获取所需对准的电子器件引脚与其他电子器件引脚的相对位置；

根据所需对准的电子器件引脚的对准位置、所需对准的电子器件引脚与其他电子器件引脚的相对位置，确定其他电子器件引脚的对准位置。

3.根据权利要求1或2所述的探针与电子器件引脚的对准方法，其特征在于，所述调节步骤中，所述光束为准直光束且垂直于电子器件表面，调节光束与电子器件表面相交形成的光斑，使光斑面积为N倍的电子器件引脚的面积；N1；

所述计算步骤中，预定返回光功率为：P=αAW+β（N-1）AW；其中，αAW为电子器件引脚的反射信号光功率，β（N-1）AW为与光斑相应的电子器件引脚周围材料的反射信号光功率；A为电子器件引脚的面积，W为光束的功率密度，α和β分别为电子器件引脚的表面材料和周围材料在预定波段的反射率。

4.根据权利要求1或2所述的探针与电子器件引脚的对准方法，其特征在于，探针设置有两个或多个探头，并且每两个探头之间的距离小于电子器件引脚区域的最小边长度；

所述处理步骤，具体包括：

步骤S1，当返回的反射信号光功率与预定对准光功率的差值的绝对值不大于预定差值时，控制探针与电子器件表面接触；

步骤S2，测量每两个探头之间的电子器件表面电阻，并判断所测量到的表面电阻是否低于预定电阻值；如果是，则进入步骤S3；否则进入步骤S4；

步骤S3，判断探针已经与电子器件引脚接触，确定探针的当前位置为所需对准的电子器件引脚的对准位置，完成对准过程；

步骤S4，控制探针移动，继续逐点扫描下一个位置，在所述下一个位置使探针与电子器件表面接触；进入步骤S2。

5.根据权利要求1或2所述的探针与电子器件引脚的对准方法，其特征在于，所述光斑的形状包括圆形、椭圆、长方形、正方形、弓形、多弧形、五角形、菱形、梯形、三角形、平行四边形中的一种或多种；

所述电子器件引脚的形状包括圆形、椭圆、长方形、正方形、弓形、多弧形、五角形、菱形、梯形、三角形、平行四边形中的一种或多种。