[发明专利]等离子表面处理装置及方法在审
| 申请号： | 201910182910.9 | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN110042348A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 云洋 | 申请（专利权）人： | 深圳奥拦科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈秀丽;陈小娜 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 负极板 正极板 等离子表面处理装置 电极板 相邻电极板 间隔设置 工作位 等离子表面处理 抽真空处理 反应气体 工件距离 极性相反 气体发生 电离 对正 极板 通电 | ||
1.一种等离子表面处理装置，其特征在于，包括：
箱体；以及
电极板，所述电极板包括置于所述箱体内的间隔设置的正极板和负极板，所述正极板和负极板的其中一种至少有两个，所述正极板和所述负极板之间形成用于放置一层工件的工作位。
2.根据权利要求1所述的等离子表面处理装置，其特征在于，所述箱体内依次间隔设置多组正极板和所述负极板，所述正极板和所述负极板交替设置。
3.根据权利要求1或2所述的等离子表面处理装置，其特征在于，所述箱体为金属材料制成，且所述箱体接地。
4.根据权利要求3所述的等离子表面处理装置，其特征在于，沿所述正极板和所述负极板的排布方向，靠近箱体的所述电极板中至少有一个是正极板。
5.一种等离子表面处理装置，其特征在于，包括：
箱体；以及
间隔设置在所述箱体内的电极板，两个相邻电极板的极性相反，且相邻电极板之间形成用于放置一层工件的工作位。
6.根据权利要求5所述的等离子表面处理装置，其特征在于，所述电极板为复合板，所述电极板包括绝缘板和分别设置在所述绝缘板两侧的金属板。
7.根据权利要求6所述的等离子表面处理装置，其特征在于，每个所述电极板上两侧的金属板通电后电性相同或相反，且相邻的电极板中相对的面的金属板的电性相反。
8.根据权利要求5-7任意一项所述的等离子表面处理装置，其特征在于，所述电极板上设置有通孔。
9.根据权利要求6或7所述的等离子表面处理装置，其特征在于，所述金属板厚度为0.1mm-60mm，所述绝缘板的厚度为0.1mm-400mm；
所述箱体为金属材料制成，且所述箱体接地以使箱体能够作为一个电极板。
10.一种等离子表面处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
将工件置于箱体内的正极板和负极板之间，且在所述正极板和负极板之间置于一层工件，工件距离两个相邻的正极板和负极板的距离大致相同；
对箱体进行抽真空处理，并向箱体内加入反应气体；
对正极板和负极板通中频(AC)或射频(RF)交流电，使所述箱体内的气体发生电离，以使电离后的离子在电磁场的下作用于工件表面。
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