[发明专利]一种化学机械抛光设备

说明书

本发明涉及一种抛光设备，具体是一种化学机械抛光设备，包括安装有抛光头的减震连接座，所述减震连接座通过安装臂安装固定，减震连接座内部安装有缓冲系统。本发明中缓冲系统可避免抛光设备运行过程中抛光头直接接触抛光体造成损坏，使用寿命高。

技术领域

本发明涉及一种抛光设备，具体是一种化学机械抛光设备。

背景技术

抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法。是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工。抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度，而是以得到光滑表面或镜面光泽为目的，有时也用以消除光泽（消光）。通常以抛光轮作为抛光工具。抛光轮一般用多层帆布、毛毡或皮革叠制而成，两侧用金属圆板夹紧，其轮缘涂敷由微粉磨料和油脂等均匀混合而成的抛光剂。

抛光时，高速旋转的抛光轮（圆周速度在20米/秒以上）压向工件，使磨料对工件表面产生滚压和微量切削，从而获得光亮的加工表面，表面粗糙度一般可达Ra0.63～0.01微米;当采用非油脂性的消光抛光剂时，可对光亮表面消光以改善外观。 大批量生产轴承钢球时，常采用滚筒抛光的方法。

目前抛光设备运行过程中抛光头直接接触抛光体进而容易造成抛光头损坏，使用寿命低。

因此，提供一种化学机械抛光设备，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种化学机械抛光设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种化学机械抛光设备，包括安装有抛光头的减震连接座，所述减震连接座通过安装臂安装固定，减震连接座内部安装有缓冲系统。

作为进一步的方案：所述减震连接座内部配合缓冲系统开设有缓冲腔，缓冲系统上设有下安装管，下安装管上端连接有上安装管，上安装管为软管，下安装管和上安装管连接处安装有限位环，限位环上端安装有呈环形阵列分布的缓冲杆，限位环下端固定有呈环形阵列分布的第一弹簧，限位环四周固定有四个呈环形阵列分布的限位杆。

作为再进一步的方案：所述缓冲腔的横截面呈“凸”字型。

作为再进一步的方案：所述缓冲杆是由伸缩杆和第二弹簧组成，第二弹簧套设在伸缩杆上。

作为再进一步的方案：所述伸缩杆是由内杆和外套管组成，内杆穿插在外套管内部。

作为再进一步的方案：所述内杆和外套管连接处固定有限位凸沿。

作为再进一步的方案：所述限位杆呈L型，限位杆上端固定有顶板。

作为再进一步的方案：所述减震连接座下端安装有安装盘，安装盘下端和抛光头固定连接，安装盘外侧设有防护罩。

作为再进一步的方案：所述安装臂是由内固定臂和外套臂组成，内固定臂穿插在外套臂内部，内固定臂和外套臂通过固定销固定安装，内固定臂上配合固定销开设有阵列分布的固定孔。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明中缓冲系统可避免抛光设备运行过程中抛光头直接接触抛光体造成损坏，使用寿命高；

2、本发明中限位杆可对缓冲系统进行限位，避免过度限位造成抛光质量不佳的问题。

附图说明

图1为本发明化学机械抛光设备的结构示意图。

图2为图1的主视结构示意图。

图3为图1中减震连接座的横向剖面图。

图4为图3中限位杆的结构示意图。