[发明专利]一种微镜结构

权利要求书

1.一种微镜结构，其特征在于，包括由微镜单元组成的微镜阵列，所述微镜单元由建立在衬底上的多个相邻排列的微桥结构组成，每个所述微桥结构包括设于所述衬底上的一个支撑柱及与所述支撑柱形成单点相连的一个微桥桥面，所述微桥桥面上设有金属反射层，所述金属反射层通过所述支撑柱与所述衬底建立电学连接，每个所述微桥桥面下方的所述衬底上设有至少一个与所述衬底建立电学连接的金属控制部件；其中，所述支撑柱与微桥桥面之间通过导电梁进行连接，且各所述微桥桥面通过一个角部与对应的导电梁的内端形成转折相连，并通过所述导电梁的外端连接对应的支撑柱，当向所述金属反射层和对应的金属控制部件通入电流时，通过电压分别控制各所述微桥桥面的翘曲方向及角度，实现所述微镜单元沿多个方向的任意旋转。

2.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述导电梁具有上下起伏的重复转折结构。

3.根据权利要求1-2任一所述的微镜结构，其特征在于，所述微镜单元由四个所述微桥结构拼合成2×2的阵列形式；其中，四个所述支撑柱按中心对称分布在所述微桥结构阵列的上、下及左、右四个方位。

4.根据权利要求3所述的微镜结构，其特征在于，四个所述微桥结构的所述微桥桥面拼合成矩形或圆形形状。

5.根据权利要求3所述的微镜结构，其特征在于，所述微桥桥面自下而上设有支撑层、金属反射层和保护层，四个所述微桥桥面中心的拼合点部位之间通过所述支撑层或所述保护层的材质延伸搭接在一起。

6.根据权利要求5所述的微镜结构，其特征在于，所述金属反射层材料为金属Al，所述支撑层材料为SiN、SiO₂或SiON，所述保护层材料为SiO₂或SiON。

7.根据权利要求5所述的微镜结构，其特征在于，所述支撑层和所述保护层在四个所述微桥桥面中心的拼合点部位之间形成连接。

8.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述金属控制部件沿对应的所述微桥桥面的边部、角部和/或偏转轴的两侧设置多个。

9.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述衬底上设有金属互连层，所述支撑柱和金属控制部件通过所述金属互连层分别与所述衬底建立电学连接。