[发明专利]一种机械可调的超构表面结构彩色滤波器在审

专利信息
申请号: 201910183834.3 申请日: 2019-03-12
公开(公告)号: CN109696718A 公开(公告)日: 2019-04-30
发明(设计)人: 王继成;冯延;李可;刘禹 申请(专利权)人: 江南大学
主分类号: G02B5/20 分类号: G02B5/20
代理公司: 大连理工大学专利中心 21200 代理人: 梅洪玉
地址: 214122 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 二氧化钛纳米棒 周期阵列 彩色滤波器 表面结构 单元结构 可调的 衬底 聚二甲基硅氧烷基 聚二甲基硅氧烷 器件技术领域 调谐 彩色滤波 单独固定 机械调节 晶格常数 微纳光学 重复排列 上表面 体积小 拉伸 束缚
【权利要求书】:

1.一种机械可调的超构表面结构彩色滤波器,其特征在于,包括聚二甲基硅氧烷衬底5和二氧化钛纳米棒周期阵列,二氧化钛纳米棒周期阵列包括二氧化钛纳米棒周期阵列A(1)、二氧化钛纳米棒周期阵列B(2)、二氧化钛纳米棒周期阵列C(3)和二氧化钛纳米棒周期阵列D(4);

二氧化钛纳米棒周期阵列A(1)、二氧化钛纳米棒周期阵列B(2)、二氧化钛纳米棒周期阵列C(3)和二氧化钛纳米棒周期阵列D(4)四种二氧化钛纳米棒周期阵列分别单独固定在可拉伸的聚二甲基硅氧烷基底(5)上表面,其中每一种阵列由相同的单元结构重复排列组成,每个单元结构包括一个二氧化钛纳米棒,其余空间均为空隙,一个单元结构的长度为一个周期;二氧化钛纳米棒占据单元结构中心位置,相邻的单元结构之间无空隙;

所述的单元结构内部的空隙尺寸由基础占空比决定;占空比表示为,在同一方向上,二氧化钛纳米棒为椭圆柱,二氧化钛纳米棒的轴长与所在单元结构的周期之比,基础占空比取值为0.96。

2.如权利要求1所述的机械可调的超构表面结构彩色滤波器,其特征在于,所述的二氧化钛纳米棒的尺寸固定不变,单元结构的周期随拉伸而变化,范围为250nm-440nm。

3.如权利要求1或2所述的机械可调的超构表面结构彩色滤波器,其特征在于,所述的二氧化钛纳米棒的高度在300nm,长轴半径120nm,短轴半径90nm。

4.如权利要求1或2所述的机械可调的超构表面结构彩色滤波器,其特征在于,所述的聚二甲基硅氧烷基底(5)厚度600nm,单元结构的周期拉伸至300nm时可获取蓝光,占空比变为0.8;单元结构的周期达到375nm即可滤取黄波,占空比变为0.64;单元结构周期为440nm时,可获取红波,占空比变为0.545。

5.如权利要求3所述的机械可调的超构表面结构彩色滤波器,其特征在于,所述的聚二甲基硅氧烷基底(5)厚度600nm,单元结构的周期拉伸至300nm时可获取蓝光,占空比变为0.8;单元结构的周期达到375nm即可滤取黄波,占空比变为0.64;单元结构周期为440nm时,可获取红波,占空比变为0.545。

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