[发明专利]一种穆勒显微偏振像差校准方法及装置

权利要求书

1.一种穆勒显微偏振像差校准方法，包括如下步骤：

S1、分别对标准样本和实验样本进行如下图像采集步骤：使光在经过起偏模块、样本、聚光镜、物镜、检偏模块后到达CCD，利用CCD进行图像采集；其中样本是指所述标准样本和实验样本；

S2、数据采集完整之后对数据进行处理，其算法为特征值校准法，最后计算空气实验样本的穆勒矩阵；

其中标准样本包括：空气标准样本、0°偏振片标准样本、90°偏振片标准样本和30°波片标准样本；

步骤S2通过特征值校准法消除聚光镜和显微物镜处大入射角造成的偏振像差的影响；

其中，物镜和聚光镜的穆勒矩阵分别为M_Obj和M_Con，系统传递函数为D＝TM_ObjMM_ConW＝T_ModMW_Mod其中T_Mod＝TM_Obj，W_Mod＝M_ConW，

采用16次偏振调制和光强测量时，矩阵W表示起偏模块产生的4次偏振调制信息与入射光强的相乘后得到的矩阵，矩阵T表示检偏模块进行的4次偏振调制，D表示光强，M表示样本穆勒矩阵；

其中，以特征值校准法为基础，考虑聚光镜和物镜的误差源，对仪器矩阵实现全参数建模，采用四种标准样本用以校准，实现分别采用4倍、10倍、20倍和40倍物镜时的校准。

2.如权利要求1所述的穆勒显微偏振像差校准方法，其特征在于：起偏模块和检偏模块中波片采用各自独立旋转的偏振调制。

3.如权利要求1所述的穆勒显微偏振像差校准方法，其特征在于：起偏模块和检偏模块当中的波片分别处于35°、70°、105°和140°时CCD进行图像采集，共采集16组图像。

4.如权利要求1所述的穆勒显微偏振像差校准方法，其特征在于：偏振器件初始时刻主轴方向均平行，起偏和检偏模块中波片转速比为1:1。

5.如权利要求2所述的穆勒显微偏振像差校准方法，其特征在于：每次旋转的角度基数为35°及其整数倍。

6.如权利要求2所述的穆勒显微偏振像差校准方法，其特征在于：起偏模块和检偏模块中波片转速比取整数转速比。

7.如权利要求2所述的穆勒显微偏振像差校准方法，其特征在于：初始时刻使波片快轴方向与第一个偏振片透光轴方向平行，第二个偏振片透光轴与第一个偏振片透光轴正交。

8.一种穆勒显微偏振像差校准装置，其特征在于，包括：

依次设置在光路上的起偏模块、样本、聚光镜、物镜、检偏模块后到达CCD，利用CCD进行图像采集；其中样本是指标准样本和实验样本；

数据采集完整之后对数据进行处理的数据处理装置，其中算法为特征值校准法，用于计算空气实验样本的穆勒矩阵；其中，

标准样本包括：空气标准样本、0°偏振片标准样本、90°偏振片标准样本和30°波片标准样本；

数据处理装置通过特征值校准法消除聚光镜和显微物镜处大入射角造成的偏振像差的影响；

其中，物镜和聚光镜的穆勒矩阵分别为M_Obj和M_Con，系统传递函数为D＝TM_ObjMM_ConW＝T_ModMW_Mod其中T_Mod＝TM_Obj，W_Mod＝M_ConW，

采用16次偏振调制和光强测量时，矩阵W表示起偏模块产生的4次偏振调制信息与入射光强的相乘后得到的矩阵，矩阵T表示检偏模块进行的4次偏振调制，D表示光强，M表示样本穆勒矩阵；

其中，以特征值校准法为基础，考虑聚光镜和物镜的误差源，对仪器矩阵实现全参数建模，采用四种标准样本用以校准，实现分别采用4倍、10倍、20倍和40倍物镜时的校准。