[发明专利]一种多阴极长寿命型离子源在审
| 申请号： | 201910189383.4 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN109786199A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 方明江;蔡成振 | 申请（专利权）人： | 无锡诚承电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阴极 离子源 双阴极结构 长寿命型 离子注入机设备 间接式加热 离子发射 轴向对称 自由切换 反射端 高效率 热阴极 灯丝 | ||
【权利要求书】：
1.一种多阴极长寿命型离子源，由灯丝、阴极、弧室和磁场组成。
2.根据权利要求1所述的一种多阴极长寿命型离子源，灯丝、阴极与弧室之间均非接触式绝缘。
3.根据权利要求1所述的一种多阴极长寿命型离子源，由轴向对称的灯丝与阴极的热阴极组合形成的双阴极结构。
4.根据权利要求1所述的一种多阴极长寿命型离子源，由两组及以上的双阴极结构组成。
5.根据权利要求1所述的一种多阴极长寿命型离子源，弧室可选择对称多边形或圆形结构，由引出板、侧壁及底板组成。
6.根据权利要求5所述的一种多阴极长寿命型离子源，引出板是中心开引出孔的对称多边形或圆形结构。
7.根据权利要求5所述的一种多阴极长寿命型离子源，侧壁是由一件侧面对称开孔或多件全部或部分开孔的部件组成。
8.根据权利要求5所述的一种多阴极长寿命型离子源，底板是开有送气孔的对称多边形或圆形结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡诚承电子科技有限公司，未经无锡诚承电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910189383.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
