[发明专利]一种化学气相沉积设备及其控制方法和控制装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积设备的控制方法，其特征在于，包括：

调节所述化学气相沉积设备的内部压强至外界大气压强，包括：

向所述化学气相沉积设备的内部充入惰性气体，并打开安装在所述化学气相沉积设备上的排气单元，直至所述化学气相沉积设备的内部压强与外界大气压强相同；

检测是否发出放料信号，所述放料信号是所述化学气相沉积设备的取放料装置获取待处理的玻璃基板时发出的信号，当自动机械臂获取待镀膜的玻璃基板，发出所述放料信号；

根据检测到的放料信号打开所述化学气相沉积设备的大气端隔离门，包括：当检测到所述放料信号时，打开所述化学气相沉积设备的大气端隔离门；当未检测到所述放料信号时，保持所述大气端隔离门闭合；

其中，当上一个卡夹的所有玻璃基板完成镀膜工艺制程后，继续向所述化学气相沉积设备内部充入惰性气体，并打开排气单元，直至所述化学气相沉积设备的内部压强与外界大气压强相同，若取放料装置从新的卡夹上获取所述玻璃基板后，发出放料信号，当检测到所述放料信号后，打开所述大气端隔离门，将所述玻璃基板通过所述大气端隔离门放入所述化学气相沉积设备内部；若在所述化学气相沉积设备内部压强与外界大气压强达到相同时，新的卡夹还未搬送至所述卡夹承载装置上，取放料装置还未获取所述玻璃基板，不发出放料信号，当未检测到所述放料信号，所述大气端隔离门处于关闭状态，所述化学气相沉积设备内部压强依然保持与外界大气压强的动态平衡状态；

通过所述大气端隔离门进行放料操作，包括：将所述玻璃基板通过所述大气端隔离门放入所述化学气相沉积设备内部，具体地，自动机械臂将在卡夹上获取的待镀膜的玻璃基板通过大气端隔离门放入真空锁内；

关闭所述大气端隔离门和所述排气单元；

对所述化学气相沉积设备的内部进行抽真空直至真空状态。

2.一种化学气相沉积设备的控制装置，其特征在于，包括：

气压调节模块，用于调节所述化学气相沉积设备的内部压强，所述气压调节模块包括充气单元和排气单元，所述充气单元用于向所述化学气相沉积设备的内部充入惰性气体；所述排气单元用于在所述充气单元充气的同时排放所述化学气相沉积设备内部的气体，使所述化学气相沉积设备的内部压强与外界大气压强达到动态平衡；

信号检测模块，用于检测放料信号；

操作控制模块，用于根据检测到的放料信号打开所述化学气相沉积设备的大气端隔离门，并通过所述大气端隔离门进行放料操作，还用于在完成放料操作之后关闭所述大气端隔离门。

3.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括真空锁、转移腔、工艺腔、自动机械臂和如权利要求2所述的控制装置，其中，

所述真空锁、所述转移腔和所述工艺腔依次密闭连通；

所述自动机械臂靠近所述真空锁的大气端隔离门的一侧，用于将待镀膜的玻璃基板放入所述真空锁内部；

所述控制装置分别与所述真空锁和所述自动机械臂电连接，用于控制所述大气端隔离门的打开或闭合，以及所述自动机械臂的取放料。

4.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于，还包括气动阀，所述气动阀安装在所述真空锁的侧壁上，用于在所述充气单元充气的同时排放所述真空锁内部的气体，使所述真空锁的内部压强与外界大气压强达到动态平衡。