[发明专利]石英连熔炉去羟基、杂质装置及其方法

权利要求书

1.一种石英连熔炉去羟基、杂质装置，其特征在于：包括上盖(1)，所述的上盖(1)中间位置设置通孔，用于容纳钨钼管(2)；所述的钨钼管(2)内部同轴设置钨铼热电偶(3)；所述的上盖(1)还设有步进电机(4)，步进电机(4)连接于钨钼管(2)。

2.如权利要求1所述的石英连熔炉去羟基、杂质装置，其特征在于：所述的钨钼管(2)底部侧面沿着管体的圆周方向均匀布置出气孔(5)。

3.如权利要求1所述的石英连熔炉去羟基、杂质装置，其特征在于：所述的上盖(1)为冂型，并且设于钨坩埚(6)的顶部。

4.如权利要求1所述的石英连熔炉去羟基、杂质装置，其特征在于：所述的钨钼管(2)一侧设置混合气体接入口(9)；所述的钨钼管(2)与混合气体接入口(9)相互垂直设置。

5.如权利要求4所述的石英连熔炉去羟基、杂质装置，其特征在于：所述的上盖(1)上还设有支架(7)，所述的步进电机(4)设置于支架(7)上。

6.如权利要求1-5中任一项所述的石英连熔炉去羟基、杂质装置，其特征在于：还设有控制器(8)，所述的步进电机(4)、钨铼热电偶(3)均电连接于控制器(8)。

7.一种石英连熔炉去羟基、杂质的方法，其特征在于：包括如下步骤：

钨铼热电偶(3)测到温度后，把温度信号传递给控制器(8)，控制器(8)接收到信号后，若温度高于1400度，步进电机(4)启动带动钨钼管(2)自动升高，升高至1400度停止；若低于1400度时，随着原料温度向下降，下降至1400度。